[实用新型]磁控溅射装置

权利要求书

1.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括：

用于安装柔性基材的镀膜辊；以及

环绕所述镀膜辊的镀膜室，所述镀膜室内设有多块隔板，所述多块隔板将所述镀膜室划分为多个镀膜腔，每一镀膜腔朝向所述镀膜辊的腔壁为镀板，所述镀板上设有镀膜孔；

其中，每一镀膜腔内设有阴极靶、通气管道及护罩，所述阴极靶与所述镀膜辊正对设置，且所述阴极靶沿所述镀膜辊的中心轴延伸，所述通气管道位于所述阴极靶与一隔板之间，且所述通气管道沿所述镀膜辊的中心轴延伸，所述通气管道靠近所述阴极靶的管壁为管板，所述护罩罩设于所述通气管道上，且在所述镀膜辊的中心轴方向上，所述护罩的长度大于所述通气管道的长度，所述护罩位于所述通气管道两端之外的部分为延伸部，所述护罩靠近所述阴极靶的罩壁为罩板，所述罩板与所述管板之间形成气流通道，所述管板上设有出气孔，以使所述通气管道与所述气流通道连通，所述罩板上设有多个散气孔，部分散气孔位于两个所述延伸部上。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，在所述镀膜辊的中心轴方向上，所述护罩的长度小于或等于所述镀膜孔的开口宽度。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述多个散气孔沿所述镀膜辊的中心轴方向排列成一排，相邻两个散气孔之间的间距相等。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述多个散气孔沿所述镀膜辊的中心轴方向排列成多排，每一排散气孔包括若干散气孔，每一排散气孔中的部分散气孔位于所述两个延伸部，每一排散气孔中的相邻两个散气孔之间的间距相等，相邻两排排散气孔中的相邻两个散气孔之间的间距相等。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述散气孔呈圆形或方形。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述出气孔的数目为多个，所述多个出气孔沿所述镀膜辊的中心轴方向排列成一排，相邻两个出气孔之间的间距相等。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述护罩包括顶板及设于所述顶板相对的两侧的侧板，所述顶板即为所述罩板；

所述通气管道朝向所述镀板的管壁为第一板，所述通气管道与所述第一板相对的管壁为第二板，所述两侧板分别与所述第一板及所述第二板间隔。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述罩板与所述隔板可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述护罩包括顶板及设于所述顶板相对的两侧的侧板，所述顶板即为所述罩板；

还包括螺钉或螺栓，每一侧板相对的两端的端面上设有分别设有凸耳部，所述凸耳部远离所述罩板的一侧与所述侧板远离所述罩板的一侧齐平，所述凸耳部及所述隔板上分别设有螺纹孔，所述螺钉或所述螺栓穿设于所述凸耳部及所述隔板上。

10.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述通气管道包括多段支管道，所述多段支管道沿所述镀膜辊的中心轴方向间隔排列，且每一支管道上开设有进气口。