[实用新型]一种紫外固化灯有效
| 申请号： | 201420812240.7 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN204257701U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 徐建华;邓浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/48 | 分类号： | H01L33/48;H01L25/075;H01L33/50 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 固化 | ||
【权利要求书】：
1.一种紫外固化灯，装设在工艺腔腔壁上，其特征在于，所述紫外固化灯至少包括：
四对紫外灯，其中两对紫外灯设置在十字的上下两端，另两对紫外灯设置在十字的左右两端，每一对紫外灯发生旋转且旋转方向与被照射晶圆的旋转方向相反。
2.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：每一对中的两根紫外灯互相平行排列。
3.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述上下两对紫外灯竖直设置，左右两对紫外灯水平设置。
4.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述上下两对紫外灯水平设置，左右两对紫外灯竖直设置。
5.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述上下两对的紫外灯为长波紫外灯，左右两对紫外灯为短波紫外灯。
6.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述上下两对的紫外灯为短波紫外灯，左右两对紫外灯为长波紫外灯。
7.根据权利要求5或6所述的紫外固化灯，其特征在于：所述长波波长范围为320～400nm，所述短波波长范围为200～275nm。
8.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述紫外灯旋转的转速范围为3～5转/分。
9.根据权利要求1所述的紫外固化灯，其特征在于：所述被照射晶圆由一基座支撑并旋转，转速范围在1～3转/分。
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