[实用新型]一种具有双调节节点的籽晶杆结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及泡生法蓝宝石晶体制造领域，尤其涉及一种具有双调节节点的籽晶杆结构，同时可适用于其他相似领域。

背景技术

蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有优良的物理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，成为近年国内外研究开发和产业化热点。

蓝宝石晶体制造的一般过程是将一根受冷的籽晶与熔体接触，如果界面的温度低于凝固点，则籽晶开始生长，为了使晶体不断长大，就需要逐渐降低熔体的温度，同时旋转晶体，以改善熔体的温度分布。也可以缓慢的（或分阶段的）上提晶体，以扩大散热面。晶体在生长过程中或生长结束时不与坩埚壁接触，这就大大减少了晶体的应力。不过，当晶体与剩余的熔体脱离时，通常会产生较大的热冲击。目前常用的高温溶液顶部籽晶法是该泡生法的改良和发展。

在蓝宝石晶体制造过程中籽晶杆是极为重要的一个部件，其结构对制造过程中的引晶过程和生长过程都有重要的影响。为不与其他部位产生摩擦，具有高称重精度的籽晶杆一般都是悬挂在波纹管中心，需要每次在晶体生长的准备期间进行同心度的调节，否则过大的摩擦会影响籽晶杆稳定性以及称重的准确性。但晶体生长时的高温和更大重量会使籽晶杆变形，所以很难保证生长过程不发生摩擦。本发明将提供一种籽晶杆结构解决上述问题，从而达到减少准备时间提高效率的有益结果。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的主要目的在于提供一种具有双调节节点的籽晶杆结构，在籽晶杆分为上、中、下两个部分，上部与称重系统直连，中、下部悬挂在上部的底端，位于波纹管和炉内。这样上部与波纹管距离将保持恒定，即使不调节也不可能产生摩擦，而中、下部悬挂式连接必然是垂直与炉体，不会与炉体内部件产生摩擦，下部为耐高温的钼材料也不会产生较大的变形。

（二）技术方案

为达到上述目的，本发明提供了一种具有双调节节点的籽晶杆结构，设置上籽晶杆1、中籽晶杆2和下籽晶杆3，所述的上籽晶杆1的末端设置第一螺丝杆9，所述的中籽晶杆2的顶端设置第一球头6，所述的第一球头6上设置第一螺帽5，所述的第一螺帽5，通过所述的第一螺丝杆9安装在所述的上籽晶杆1上，因此所述的中籽晶杆2可以自由摆动；所述的中籽晶杆2的末端设置第二螺丝杆10，所述的下籽晶杆3的顶端设置第二球头8，所述的第二球头8上设置第二螺帽7，所述的第二螺帽7，通过所述的第二螺丝杆10安装在所述的中籽晶杆2上，因此所述的下籽晶杆3可以自由摆动。

所述的上籽晶杆1和中籽晶杆2为不锈钢材质，所述的下籽晶杆3为钼制，晶体生长时所述的下籽晶杆3在晶体炉内。

所述的下籽晶杆3的末端设置第三螺丝杆4，用于安装籽晶夹头。

本实用新型中籽晶杆和下籽晶杆既可以自由的进出炉体，又可以自动调节垂直，保证晶体生长方向的一致，减少水平调节的时间。

（三）有益效果

从上述技术方案可以看出，本发明具有以下有益效果：

1、本发明提供的具有具有双调节节点的的籽晶杆结构，籽晶杆基本不需要进行调节，可节约大量的时间成本。

2、本发明提供的具有双调节节点的籽晶杆结构，在高温环境下也不会产生较大变形，并且不会产生任何的摩擦从而影响引晶过程的稳定性，能够确保引晶过程的可靠性。

附图说明

图1为晶体炉的结构示意图；

图2为具有双调节节点的籽晶杆的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步展开说明，但需要指出的是，本实用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。

请一并参阅图1、图2，一种具有双调节节点的籽晶杆结构，设置上籽晶杆1、中籽晶杆2和下籽晶杆3。所述的上籽晶杆1中籽晶杆2和下籽晶杆3用于安装生长晶体的籽晶，并提拉生长出来的蓝宝石晶体。

所述的上籽晶杆1的末端设置第一螺丝杆9，所述的中籽晶杆2的顶端设置第一球头6，所述的第一球头6上设置第一螺帽5，所述的第一螺帽5，通过所述的第一螺丝杆9安装在所述的上籽晶杆1上，因此所述的中籽晶杆2可以自由摆动，在静止状态下始终保持垂直向下。