[实用新型]用于曝光机的CCD移动机构有效
申请号: | 201420807363.1 | 申请日: | 2014-12-17 |
公开(公告)号: | CN204347439U | 公开(公告)日: | 2015-05-20 |
发明(设计)人: | 袁强;刘长征 | 申请(专利权)人: | 东莞市海圣光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所 44231 | 代理人: | 刘林 |
地址: | 523000 广东省东莞市长安镇振安东路*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 曝光 ccd 移动 机构 | ||
1.用于曝光机的CCD移动机构,包括双轴移动平台及由双轴移动平台带动移动的CCD镜头,该双轴移动平台包括结构相同且相互对称的左移动平台和右移动平台,其特征在于:该双轴移动平台由Y轴移动平台和由Y轴移动平台带动移动的X轴移动平台构成,Y轴移动平台包括Y轴运动座、Y轴导轨和Y轴步进电机组件,Y轴导轨设置在Y轴运动座的表面,步进电机组件包括第一步进电机组件和第二步进电机组件,第一步进电机组件设置在Y轴运动座的前端,第二步进电机组件设置在Y轴运动座的后端,第一步进电机组件与第二步进电机组件之间连接有第一皮带与第二皮带;X轴移动平台包括可沿Y轴导轨滑动的第一X轴移动平台和第二X轴移动平台,第一X轴移动平台固定在第一皮带上,由第一步进电机组件带动移动,第二X轴移动平台固定在第二皮带上,由第二步进电机组件带动移动; 第一X轴移动平台上设有用于固定CCD镜头的第一固定座,第一固定座由第一X轴移动平台带动沿X轴方向移动,第二X轴移动平台上设有用于固定CCD镜头的第二固定座,第二固定座由第二X轴移动平台带动沿X轴方向移动。
2. 根据权利要求1所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第一X轴移动平台由第一X轴运动座、第一X轴导轨、第一X轴步进电机组件和第一X轴皮带轮构成,第一X轴导轨设置在第一X轴运动座的底部,第一X轴运动座的一端可配对安装至Y轴导轨上,第一X轴步进电机组件安装在第一X轴运动座的一端,第一X轴皮带轮安装在第一X轴运动座的另一端,第一X轴步进电机组件与第一X轴皮带轮之间连接有第一X轴皮带,第一固定座固定在第一X轴皮带上,由第一X轴步进电机组件带动移动。
3. 根据权利要求2所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第二X轴移动平台由第二X轴运动座、第二X轴导轨、第二X轴步进电机组件和第二X轴皮带轮构成,第二X轴导轨设置在第二X轴运动座的底部,第二X轴运动座的一端可配对安装至Y轴导轨上,第二X轴步进电机组件安装在第二X轴运动座的一端,第二X轴皮带轮安装在第二X轴运动座的另一端,第二X轴步进电机组件与第二X轴皮带轮之间连接有第二X轴皮带,第二固定座固定在第二X轴皮带上,由第二X轴步进电机组件带动移动。
4. 根据权利要求3所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第一固定座与第二固定座相对设置。
5. 根据权利要求1~4任意一项所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第一步进电机组件包括横向安装的第一步进电机、第一电机固定座和安装在第一步进电机前端的第一轮组,第一轮组由并列设置的第一主动轮和第一从动轮构成,第一主动轮由第一步进电机带动,第一从动轮可自由转动。
6. 根据权利要求5任意一项所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第二步进电机组件包括横向安装的第二步进电机、第二电机固定座和安装在第二步进电机前端的第二轮组,第二轮组由并列设置的第二主动轮和第二从动轮构成,第二主动轮由第二步进电机带动,第二从动轮可自由转动。
7. 根据权利要求6任意一项所述用于曝光机的CCD移动机构,其特征在于:所述第一皮带与第一主动轮和第二从动轮连接,第二皮带与第二主动轮和第一从动轮连接。
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