[实用新型]用于防污膜镀膜的加液系统有效
申请号: | 201420803598.3 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN204369983U | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 张洪;史俊俊;张海熬 | 申请(专利权)人: | 光驰科技(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/54 |
代理公司: | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人: | 徐小蓉 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 防污 镀膜 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜领域,尤其涉及用于防污膜镀膜的加液系统,特别是适用于对液态材料进行精确计量并加注的装置。
背景技术
防污膜已被应用于触摸屏和镜头等多种光电元件中。尤其是,随着信息技术的发展,近年来市场对于触摸屏产品的需求迅猛增长。为了增加以触摸屏为主的多种光电产品的防污效果,在其表面镀制防污膜已经成为必不可少的工序。
目前,防污膜一般采用真空蒸镀方法进行镀膜。为了应对市场需求的激增,研发自动化程度高、可以实现不间断生产的连续式防污膜镀膜设备变得日益重要。防污膜镀膜原材料可以是由防污膜料吸附在载体上形成的固体药片,亦可以是防污膜原液。其中液态防污膜料以其低成本和易于精确定量而成为连续镀膜的优选。对于在连续式镀膜机中的液态防污膜料的加液装置,目前有采用压差式计量的加液装置。不过,其存在以下不便:a,每次加药设定调节不方便,且随着药瓶药量的消耗,依靠压差来控制的滴药精度容易发生变化;b,在高真空转态下真空度不稳定、易泄漏;c,由于防污膜有机溶液的挥发性和黏度较大,在有空气接触的情况下,加液装置的滴药口易堵塞、需要靠频繁的保养来解决。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足,提供了用于防污膜镀膜的加液系统,通过调节液体容积量对液态镀膜材料进行精确定量的加药镀膜,以提高镀膜精度,降低因使用固态药片所导致的高成本,可以实现自动定量、可靠关闭不泄漏。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成:
一种用于防污膜镀膜的加液系统,将防污膜料药液瓶中的药液加注到坩埚内,其特征在于:所述加液系统至少包括一套加药装置,所述加药装置由加药控制器、容积式计量阀和滴药阀构成,所述容积式计量阀的药液进口与所述防污膜料药液瓶连通,所述容积式计量阀的药液出口与所述滴药阀连通,所述滴药阀的滴药口通向所述坩埚,所述加药控制器分别连接控制所述容积式计量阀和所述滴药阀。
所述加液系统包括若干套所述加药装置,若干套所述加药装置中的所述容积式计量阀的药液进口均与所述防污膜料药液瓶连通。
所述滴药阀具有排液管道,所述排液管道的上部开口与所述容积式计量阀的药液出口连通,所述排液管道的下部开口为滴药口,所述滴药阀内、位于所述排液管道上部开口处设置有一密封堵头,由所述加液控制器控制所述密封堵头的起落。
所述密封堵头底部固定连接一密封针,所述密封针与所述排液管道的内轮廓形状、大小吻合适配,所述密封针的长度不小于所述排液管道的长度,且当所述密封堵头封堵于所述排液管道的上部开口时,所述密封针的端头部伸出于所述滴药口。
所述加液控制器通过二位五通阀控制所述容积式计量阀的药液出口的启闭,并使该启闭动作与所述密封堵头的起落动作保持同步。
本实用新型的优点是:可以进行自动化、无需开腔破真空加药,可以对液态镀膜材料进行精确定量的加药镀膜,不但提高了镀膜精度,同时降低了因使用固态药片所导致的高成本,有效防止真空下的滴药泄漏、压力不稳而影响成膜质量的现象,以有效防止堵塞,免除频繁维护保养的成本、提高了设备稼动率。
附图说明
图1为本实用新型的第一种结构示意图;
图2为本实用新型的第二种结构示意图;
图3为本实用新型中滴药阀的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明,以便于同行业技术人员的理解:
如图1-3所示,图中标记1-17为:上位工控机1、加液控制器2、容积式计量阀3、药液入口4、防污膜料药液瓶5、药液出口6、滴药阀7、密封针8、坩埚9、排液管道10、二位五通阀11、液体管路12、控制管路13、气体管路14、压缩空气出入口15、密封堵头16、滴药口17。
实施例一:如图1所示,本实施例中用于防污膜镀膜的加液系统用于将防污膜料药液瓶5内的药液加注到真空镀膜时用于盛放药液的坩埚9内。加液系统包括加液控制器2以及由容积式计量阀3和滴药阀7构成的一套加液装置。该加液装置具有输液线、气动线以及控制线,其中输液线是指传输镀膜药液的管路,气动线为系统中的气体运动路径,这些气体是药液运动的动力,而控制线是指控制阀门部件启闭的线路。
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