[实用新型]一种掩膜板框架的结构有效
申请号: | 201420800820.4 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN204289544U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 马得贵;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;苏君海;黄亚清;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 任海燕 |
地址: | 516006 广东省惠州市仲*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 框架 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及OLED制造领域,特别是关于一种掩膜板框架的结构。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diodes,简称 OLED)是自发光器件,不需要背光源,外观轻、薄,而传统的液晶显示器(LCD)需要背光源才能工作,外观尺寸较厚。有机发光二极管显示器的功耗低,视角宽,屏幕响应快,是最能符合人们未来对显示器功能要求的技术。因此,有机发光二极管有望在不久的将来取代液晶显示器,具有很高的市场潜力。
有机小分子发光二极管在制作过程中,目前较成熟的技术是采用真空蒸镀技术,在器件制备过程中,有机材料会淀积在位于蒸发源上方的基板上,为形成特有的图案,在基板下方紧贴有掩膜版,掩膜版上留有预先设计排版好的开口,最终有机材料会通过掩膜版上的开口区域,淀积到基板上面。
现有大尺寸基板镀膜工艺的掩膜板多采用分割式的掩膜板,各分割掩膜板受张紧力后焊接在掩膜板框架上,在焊接完成后,掩膜板的张紧力对掩膜板框架有一定的反作用力,将会引起掩膜板框架变形,现有方法是在焊接掩膜板前对掩膜板框架进行施加反作用力,用以平衡掩膜板对掩膜板框架的张力,该工艺流程复杂,在焊接前还要对掩膜板及掩膜板框架进行复杂的受力分析计算,以及大量的实验实测评估计算值与实际值的误差。
掩膜板:镀膜工艺中,具有一定开口图案,用来实现特定区域镀膜图案的结构。掩膜板框架作用是支撑掩膜板,现有大尺寸基板镀膜工艺的掩膜板多采用分割式的掩膜板,各分割掩膜板受力张紧后焊接在掩膜板框架上,在焊接完成后,掩膜板的张紧力对掩膜板框架有一定的反作用力,将会引起掩膜板框架变形,现有方法是在焊接掩膜板前对掩膜板框架进行施加反作用力,用以平衡掩膜板对掩膜板框架的张力,该工艺流程复杂,在焊接前还要对掩膜板及掩膜板框架进行复杂的受力分析计算,以及大量的实验实测评估计算值与实际值的误差。造成掩膜板框架变形根本原因是由于掩膜板框架尺寸跨度大,而掩膜板框架中间又无任何的加强结构,整体刚度偏低,导致在张紧焊接掩膜板过程中容易变形。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型为解决上述技术问题,提供一种掩膜板框架的结构。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种掩膜板框架的结构,用于固定掩膜板,包括用于固定掩膜板的外框、相互交错的横向加强肋和纵向加强肋,所述横向加强肋的两端与外框固定,所述纵向加强肋的两端与外框固定。
所述外框的里侧设有向上凸的凸起,所述掩膜板以两块为一个排序列而并排固定在外框上,所述排序列的两块掩膜板间设置所述纵向加强肋,所述外框上设有多个排序列,不同排序列间设置所述横向加强肋。
所述横向加强肋或纵向加强肋的截面形状是三角形或梯形。
本实用新型相较于现有技术的有益效果是:
本实用新型的一种加强的掩膜板框架,在掩膜板框架中间增加加强肋,对其整体刚度进行强化,以达到无需使用复杂的施加反作用力工艺流程和复杂的受力分析计算,就可实现减小或几乎可忽略由于掩膜板张紧力导致掩膜板框架变形的目的。该加强的掩膜板框架的提出,大大简化了掩膜板设计流程和制造工艺流程,有效提高掩膜板制造的良品率。
附图说明
利用附图对本实用新型作进一步说明,但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。
图1是本实用新型的掩膜板框架的结构的整体结构图。
图2是本实用新型的掩膜板框架的结构的截面图。
图3是本实用新型的掩膜板框架的结构的局部放大图。
图4是本实用新型的掩膜板框架的结构的整体结构图。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员理解,下面将结合附图以及实施例对本实用新型作进一步详细描述。
请参照图1-4,本实用新型实施例包括:
一种掩膜板框架的结构,用于固定掩膜板4,包括用于固定掩膜板4的外框1、相互交错的横向加强肋3和纵向加强肋2,所述横向加强肋3的两端与外框1固定,所述纵向加强肋2的两端与外框1固定。
所述外框1的里侧设有向上凸的凸起11,所述掩膜板以两块为一个排序列而并排固定在外框1上,所述排序列的两块掩膜板间设置所述纵向加强肋2,所述外框1上设有多个排序列,不同排序列间设置所述横向加强肋3。
所述横向加强肋3的截面形状是梯形,纵向加强肋2的截面形状是梯形。
本实施例相较于现有技术的有益效果是:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择