[实用新型]光刻胶桶辅助装置有效

专利信息
申请号: 201420797611.9 申请日: 2014-12-16
公开(公告)号: CN204331288U 公开(公告)日: 2015-05-13
发明(设计)人: 崔相玉;魏明德;金惠东;金度亨 申请(专利权)人: 徐州同鑫光电科技有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 代理人: 张荣亮
地址: 221000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 光刻 辅助 装置
【权利要求书】:

1.一种光刻胶桶辅助装置,包括固定支架(3),固定支架(3)内侧放置有光刻胶桶(1),光刻胶桶(1)内插有引流导管(2),其特征在于,还包括驱动结构(4)和控制结构(5),所述固定支架(3)安装在驱动结构(4)上方,所述驱动结构(4)安装在固定支架(3)的下方,用于调整固定支架(3)的倾斜度;所述控制结构(5)与驱动结构(4)连接,用于控制驱动结构(4)工作。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶桶辅助装置,其特征在于,所述驱动结构(4)包括左侧驱动轴(4A)和右侧驱动轴(4B),所述左、右侧驱动轴(4A、4B)分别位于固定支架(3)下两侧,通过调节固定支架(3)左右两侧的高度调整固定支架(3)的倾斜度。

3.根据权利要求1或2所述的一种光刻胶桶辅助装置,其特征在于,所述控制结构(5)以时间为基准设置固定支架(3)及固定支架(3)内光刻胶桶(1)的倾斜角度,固定支架(3)及固定支架(3)内的光刻胶桶(1)在驱动结构(4)的作用下根据事前设置的幅度倾斜。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶桶辅助装置,其特征在于,所述控制结构(5)包括马达和控制器,所述控制器根据内设的时间控制马达的工作状况,带动驱动结构(4)工作调整固定支架(3)及光刻胶桶(1)的倾斜度。

5.根据权利要求1、2或4所述的一种光刻胶桶辅助装置,其特征在于,所述驱动结构(4)上还安装有停止感应器,当固定支架(3)的底部触碰到停止感应器时,驱动结构(4)停止工作,固定支架(3)及光刻胶桶(1)将停止倾斜。

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