[实用新型]一种电镀模具抽真空设备

说明书

技术领域

本实用新型一种电镀模具抽真空设备属于集成电路制造领域。

背景技术

    目前，集成电路的生产领域中，电子框架的选择性电镀是离不开电镀模具的辅助。但不管是轮镀头还是平板镀头一般都是采用RTV664A与RTV664B型的液态硅胶来制造而成的，但在实际生产过程中，以此类液态硅胶所生产的电镀模具容易出现气泡，出现了气泡的电镀模具产品将无法应用于后期的生产当中，从而为加大了企业的生产成本。因此，如何避免电镀模具在生产过程中出现气泡成为急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于避免现有技术的不足，提供一种能避免电镀模具在生产过程中出现气泡的抽真空设备。

本实用新型的目的是通过以下措施来达到的，一种电镀模具抽真空设备由排气阀、真空压力表、箱体、活动隔板、箱门、气管、真空泵、支架组件组成，箱体的顶部分别设置有排气阀与真空压力表，箱门通过活动关节铰接于箱体的一侧，活动隔板安装在箱体的内部，所述的支架组件由支架、上底板、下底板构造而成，上底板与下底板按照从上到下的顺序嵌接与支架上，箱体盛放于支架上的上底板，真空泵则放置在下底板上，真空泵通过气管连接箱体。

附图说明

    附图1是本实用新型的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

图中：排气阀1、真空压力表2、箱体3、活动隔板4、箱门5、气管6、真空泵7、支架8、上底板9、下底板10。

如附图1所示，本实用新型一种电镀模具抽真空设备由排气阀1、真空压力表2、箱体3、活动隔板4、箱门5、气管6、真空泵7、支架组件组成，箱体3的顶部分别设置有排气阀1与真空压力表2，箱门5通过活动关节铰接于箱体3的一侧，活动隔板4安装在箱体3的内部，所述的支架组件由支架8、上底板9、下底板10构造而成，上底板9与下底板10按照从上到下的顺序嵌接与支架8上，箱体3盛放于支架上的上底板9，真空泵7则放置在下底板10上，真空泵8通过气管6连接箱体3。

本实用新型的工作原理：

    将胶体放入箱体中，在真空泵的作用下，通过气管将里面的气体抽离。先是抽空箱体的气，然后在压力的作用下，胶体内部的气体膨胀，爆破，从而脱离胶体，形成致密的胶体，待抽完气泡后压制脱粒（或胶片）。