[实用新型]PECVD镀膜用防绕镀台阶框

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产的配套工装，尤其是一种平板PECVD镀膜用的边框。

背景技术

目前太阳能电池镀膜设备中平板PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition等离子体增强化学气相沉积法)镀膜时，如图1所示，在电池背面镀膜过程中，由于等离子体3在硅片1下方，因此需要采用挂钩4将硅片1吊挂在等离子体源上方，而此种悬挂方式，硅片1与载板边框2之间存在缝隙，导致等离子通过缝隙绕镀到电池片上表面，引起硅片上表面边缘镀上一层薄薄的膜，从而导致生产过程中的一些不良问题。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，能够有效阻止等离子体绕镀至硅片正面边缘，使得太阳能电池生产中硅片镀膜不存在饶镀现象，提高了产品的良率。本实用新型采用的技术方案是：

一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片的载板边框，所述载板边框面向硅片的侧壁上设有台阶，硅片放置于载板边框的台阶上，台阶的内侧延伸部托住硅片，使得载板边框与硅片边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。

进一步地，载板边框可采用碳纤维材料。

本实用新型的优点在于：

1）作为太阳能电池生产的配套工装之一，其结构设计简单实用，解决了生产中面临的技术问题。

2）使得PECVD镀膜的良品率大大提高。

3）相较于原先的挂钩，不容易对硅片背面造成损坏，更加安全可靠。

附图说明

图1为现有技术的框架示意图。

图2为本实用新型的台阶框俯视示意图。

图3为图2的A-A局部侧面示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图2和图3所示，本实用新型采用台阶框来取代挂钩，具体结构为：

一种PECVD镀膜用防绕镀台阶框，包括用于承载硅片1的载板边框2，载板边框2面向硅片1的侧壁上设有台阶201，硅片1放置于载板边框2的台阶201上，台阶201的内侧延伸部托住硅片1，使得载板边框2与硅片1边缘间没有连通硅片上方和下方的缝隙。因此在对硅片1背面进行PECVD镀膜时，能够阻止等离子体3绕镀至硅片1上方。硅片1的正面边缘就不会存在绕镀现象。

图2所示是该台阶框的整体俯视结构。载板边框2的材料为碳纤维。近似正方形的开口用于放置硅片1。