[实用新型]一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置

权利要求书

1.一种用于连续真空蒸镀的自动送料装置，所述自动送料装置包括真空腔室，其特征在于：还包括固定在真空腔室外部的动力单元及固定在真空腔室内部的自动送丝组件，所述动力单元与自动送丝组件通过磁流体密封轴连接；

其中自动送丝组件包括主动轮、从动轮、丝锟、送丝导向器及蒸镀单元。

2.根据权利要求1所述自动送料装置，其特征在于，所述磁流体密封轴的一端置于真空腔室内，并连接自动送丝组件，所述磁流体密封轴另一端置于真空腔室外部，并连接动力单元。

3.根据权利要求2所述的自动送料装置，其特征在于，所述主动轮固定连接在磁流体密封轴的一端上，所述从动轮固定在真空腔室内壁上，并与主动轮相互啮合，啮合处中心设有一卡槽，所述丝锟处于主动轮上方，所述送丝导向器固定在真空腔室内壁上，并所述送丝导向器一端位置对应卡槽，另一端位置对应蒸镀单元。

4.根据权利要求3所述自动送料装置，其特征在于，所述主动轮、从动轮与丝锟处在同一条直线上。

5.根据权利要求3所述自动送料装置，其特征在于，自动送丝组件还包括从动轮压紧机构，所述从动轮压紧机构固定在真空腔室内壁底部，所述从动轮固定在从动轮压紧机构上。

6.根据权利要求5所述的自动送料装置，其特征在于，所述从动轮压紧机构包括压紧板与调节螺钉，所述压紧板通过调节螺钉固定在真空腔室内部底部。

7.根据权利要求3所述自动送料装置，其特征在于，所述卡槽内径调节范围在0.5mm~5mm。

8.根据权利要求1所述的自动送料装置，其特征在于，所述蒸镀单元为蒸镀坩埚。

9.根据权利要求1所述的自动送料装置，其特征在于，所述动力单元包括调速电机。