[实用新型]广视野表面缺陷检测装置

权利要求书

1.一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座(1)和固定在底座(1)上的立柱(2)，其特征在于，还包括：

用于承载并夹持晶圆的承载机构(3)，该承载机构(3)装配在底座(1)上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；

检测机构(4)，所述检测机构(4)装配在立柱(2)上，能够沿立柱(2)上下移动；检测机构(4)能够对承载机构(3)上的晶圆表面进行放大成像检测，并回传检测图像；

控制模块(5)，所述控制模块(5)连接承载机构(3)，用于控制承载机构(3)沿X轴移动和带动晶圆水平转动，从而使得检测机构(4)能够对晶圆表面各处部位都能成像检测；

计算机系统(6)，分别与检测机构(4)、控制模块(5)连接，用于对检测机构回传的检测图像进行处理，识别图像中晶圆表面缺陷；并用于输出指令使得控制模块(5)控制承载机构(3)的动作。

2.如权利要求1所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

承载机构(3)包括装配在底座(1)上的X轴台(301)，该X轴台(301)能够在底座(1)上沿X轴移动；X轴台(301)上面固定有一个旋转台(302)；旋转台(302)上固定有一个载物圆台(303)；承载机构(3)中还包括驱动X轴台(301)和旋转台(302)的驱动设备，驱动设备连接控制模块(5)。

3.如权利要求2所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

载物圆台(303)上沿圆周方向均设有数个螺纹孔，通过螺纹孔螺接多个作业固定夹具(3031)，实现晶圆的承载夹持。

4.如权利要求2所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

载物圆台(303)上沿圆周径向均匀安装数个夹具导轨(3032)，沿夹具导轨(3032)安装作业固定夹具(3031)，所述作业固定夹具(3031)能够沿夹具导轨径向移动。

5.如权利要求2所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

承载机构(3)还包括用于手动调节旋转台(302)转动的第一手动旋转钮(304)，以及用于手动调节X轴台(301)移动的第二手动旋转钮(305)。

6.如权利要求1～5中任一项所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

检测机构(4)包括安装在立柱(2)上的摄像模块(401)、位于摄像模块(401)下方的镜头模块(402)，镜头模块(402)用于实现对晶圆表面进行放大成像。

7.如权利要求6所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

镜头模块(402)包括光学倍率为0.5倍的固定倍率镜头。

8.如权利要求6所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

检测机构(4)还包括用于增强成像检测效果的照明模块(403)。

9.如权利要求8所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

照明模块(403)包括LED光源(4031)，LED光源(4031)发出的光通过光纤(4032)引入至摄像模块(401)与镜头模块(402)之间的光通道中。

10.如权利要求1所述的广视野表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述立柱(2)上设有竖向导轨，检测机构(4)与立柱上竖向导轨配合实现检测机构的上下滑动。