[实用新型]碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于:包括中空结构的上封头、电缆线和下封头，所述上封头一端通过喉箍卡套在线圈的引出端外，且与炉体外表面垂直，所述上封头内线圈引出端设有线圈电极，所述线圈与线圈电极均为中空结构，所述线圈电极外部为螺纹结构，所述线圈电极内腔直接通循环冷却水，所述线圈电极另一端通过橡胶水管穿出上封头朝下设有的开口与供水装置连接，所述线圈电极上设有第一连接铜排，所述第一连接铜排一端套设于所述线圈电极外表面，另一端折弯，且折弯面与线圈电极的轴线平行，所述电缆线通过所述折弯面与线圈电极连接；上封头另一端设有中心开孔的第一环氧树脂板，所述电缆线另一端穿出所述第一环氧树脂板中心孔并穿过下封头顶部第二环氧树脂板中心孔与中频电源引出电极相连，所述下封头罩住所述中频电源引出电极。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述电缆线内部采用多股利兹线，外部附加绝缘保护层。

3.根据权利要求1或2所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述中频电源引出电极通过第二铜排与所述电缆线另一端连接。

4.根据权利要求3所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述第二铜排包括两个平行设置的电极，两个所述电极之间通过绝缘氟板隔开。

5.根据权利要求1或2所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述上封头两侧开有检修口。

6.根据权利要求3所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述上封头两侧开有检修口。

7.根据权利要求4所述的碳化硅晶体炉感应线圈与中频电源连接装置，其特征在于：所述上封头两侧开有检修口。