[实用新型]一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置有效
| 申请号： | 201420770329.1 | 申请日： | 2014-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN204265838U | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 秦遵红;王恋贵;董安光;谭华 | 申请（专利权）人： | 洛阳康耀电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 真空 墙体 温控 加热 装置 | ||
1.一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，是由：墙体(1)、长加热模块(2)、长加热模块正极(2-2)、长加热模块负极(2-3)、短加热模块(3)、短加热模块正极(3-2)、短加热模块负极(3-3)、矩形加热模块(4)、正负极输入输出孔(4-2)、定位器(5)构成；其特征在于：墙体(1)一侧的中部设置长加热模块组，长加热模块组的上方设置短加热模块组，下方设置矩形加热模块组。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，其特征在于：所述的长加热模块组由至少五块长加热模块(2)并列设置组成，每块长加热模块(2)上方中部设置长加热模块正极(2-2)和长加热模块负极(2-3)。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，其特征在于：所述的短加热模块组由至少两块短加热模块(3)并排设置组成，每块短加热模块(3)上方设置短加热模块正极(3-2)和短加热模块负极(3-3)。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，其特征在于：所述的矩形加热模块组由至少两块矩形加热模块(4)并排设置组成，每块矩形加热模块(4)的一侧设置正负极输入输出孔(4-2)，正负极输入输出孔(4-2)内设置矩形加热模块正极和矩形加热模块负极。
5.根据权利要求1、或2、或3、或4所述的一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，其特征在于：所述的长加热模块(2)、短加热模块(3)、矩形加热模块(4)均为U形加热管内设置至少两个S形加热管构成。
6.根据权利要求1、或2、或3、或4所述的一种磁控溅射镀膜真空室墙体温控加热装置，其特征在于：所述的长加热模块(2)、短加热模块(3)、矩形加热模块(4)均通过定位器(5)与墙体(1)固定。
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