[实用新型]双波长激光退火装置

权利要求书

1.双波长激光退火装置，其特征在于：包含绿光激光器和红外激光器，绿光激光器的输出光路上依次布置扩束模块、绿光条形光斑整形模块和绿光45度反光镜，红外激光器的输出光路上依次布置红外条形光斑整形模块和红外45度反光镜，绿光45度反光镜和红外45度反光镜的输出光路设置有合束投影聚焦镜，合束投影聚焦镜的输出光路设有可变光阑，可变光阑的输出端正对于加工平台。

2.根据权利要求1所述的双波长激光退火装置，其特征在于：所述绿光激光器是绿光波段为515～532nm的调Q脉冲式绿光激光器。

3.根据权利要求1所述的双波长激光退火装置，其特征在于：所述红外激光器是波段为808～1070nm的半导体或光纤红外激光器。

4.根据权利要求1所述的双波长激光退火装置，其特征在于：所述扩束模块由共焦的凹透镜和凸透镜组成，两个透镜呈虚共焦结构。

5.根据权利要求1所述的双波长激光退火装置，其特征在于：所述合束投影聚焦镜旁设有用于测量激光光束到加工件表面高度的自动测高仪。