[实用新型]实时监测泄漏的洁净工作台装置有效
| 申请号： | 201420742954.5 | 申请日： | 2014-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN204380732U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 吴峻;黄元磊;奚妙林 | 申请（专利权）人： | 上海力申科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B01L9/02 | 分类号： | B01L9/02;B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 沈履君 |
| 地址： | 201706 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 实时 监测 泄漏 洁净 工作台 装置 | ||
【权利要求书】：
1.实时监测泄漏的洁净工作台装置，其特征在于，包括：
箱体，所述箱体为一侧开口结构，所述箱体内部形成工作区；
检测结构，所述检测结构设置在所述箱体内、位于所述工作区上部；其中
所述检测结构包括：
扫描移动平台，所述扫描移动平台设置在所述箱体内、位于所述工作区上部；
移动单元，所述移动单元设置在所述扫描移动平台内；
扫描探头，所述扫描探头设置在所述移动单元上。
2.根据权利要求1所述的实时监测泄漏的洁净工作台装置，其特征在于，所述移动单元包括：
横向导槽，两根所述横向导槽相向设置在所述扫描移动平台内壁上；
纵向导轨，所述纵向导轨的两端分别嵌入在两根所述横向导槽内。
3.根据权利要求2所述的实时监测泄漏的洁净工作台装置，其特征在于，所述扫描探头设置在所述纵向导轨上。
4.根据权利要求1所述的实时监测泄漏的洁净工作台装置，其特征在于，在所述箱体内还设有均流板，所述均流板位于所述工作区上部、位于所述检测结构下方。
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