[实用新型]真空度测量装置

权利要求书

1.一种真空度测量装置，用于测量聚对二甲苯真空沉积系统的真空沉积腔室的真空度，其特征在于：所述真空度测量装置包括加热圈、导热件、真空规管、以及热电偶，所述导热件环绕所述真空规管设置，所述加热圈设置在所述导热件外部，所述热电偶与所述真空规管热连通，且所述真空规管与所述真空沉积腔室流体连通。

2.根据权利要求1所述的真空度测量装置，其特征在于，所述导热件由两块铝块构成，每一个所述铝块设置有槽，所述两块铝块装配后两个铝块的槽共同形成用于容纳所述真空规管的规管腔室。

3.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述两块铝块通过螺钉固定连接。

4.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述两块铝块包围所述真空规管并且形成有用于连接热电偶的热电偶接口和用于与真空腔室连通的真空腔室接入口。

5.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述热电偶与所述铝块螺纹连接。

6.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述两块铝块装配后呈圆筒形。

7.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述两块铝块装配后所形成的所述规管腔室的一端封闭。

8.根据权利要求2所述的真空度测量装置，其特征在于，所述真空规管通过管件与所述真空沉积腔室流体连通。