[实用新型]夹具的中心点定位器及夹具有效

专利信息
申请号: 201420734896.1 申请日: 2014-11-28
公开(公告)号: CN204241291U 公开(公告)日: 2015-04-01
发明(设计)人: 陈霞莉 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N3/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 夹具 中心点 定位器
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及定位装备技术领域,尤其涉及一种夹具的中心点定位器及夹具。

背景技术

为了确保芯片在不同制程中的质量,需要在可靠性实验室中进行多种实验,其中,有一项实验是对芯片做拉力破坏性实验,该实验通过观察芯片的金属层与金属层的剥离状态来分析制程是否正常。

每次做拉力破坏性实验之前,实验室都需要准备大量进行拉力破坏性实验的样品,样品的制备过程是将芯片固定在夹具上的过程,所述的夹具主要包括上夹片和下夹片,上夹片和下夹片大小相同,且两者均为方形。夹具在固定芯片时,需要确保上夹片与下夹片互相对齐,以便后续将夹具装载在拉力试验机上进行拉力破坏性实验。

样品的制备过程具体如下:首先在下夹片上涂胶,之后将其送入烤炉使胶固化以在下夹片表面形成平坦的胶层,将下夹片从烤炉取出冷却;同理,将上夹片也作如同下夹片的操作;接下来在有胶层的下夹片上涂胶并将待进行拉力破坏性实验的芯片黏贴到下夹片的中间位置并送入烤炉使胶固化,之后在有胶层的上夹片上涂胶并将其黏贴在已固定了芯片的下夹片上并送入烤炉使胶固化,最终芯片被固定在上夹片与下夹片中间,样品制备结束,其中对于芯片黏贴在下夹片的步骤,芯片需要黏贴在下夹片的中心点,以往都是靠肉眼识别下夹片的中心点,然后用镊子夹取芯片放置于下夹片的中心点的位置。然而实际操作过程中,芯片是不可能每次都准确的放置于下夹片的中心点的,如果放偏,肉眼却没有识别出来,最后烘烤完,会明显发现上下夹片不平行,从而导致胶层粘合部位受力不均,以至于后续进行拉力破坏性实验拉出很多无效的样品,而而制备样品的过程已经耗费了大量的人力物力,仅仅因芯片未放置到夹具的中心位置而使制备的样品失败,降低了样品制备的成功率,从而使得后续实验无法正常进行,大大提高了成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹具的中心点定位器及夹具,以解决现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中,由于芯片未放置到夹具的中心位置而使制备的样品失败,导致样品制备的成功率降低的问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种夹具的中心点定位器,所述夹具包括一下夹片,所述下夹片上设置有螺纹孔,所述夹具的中心点定位器包括底座及设置于所述底座上的支撑腿,所述支撑腿贯穿所述螺纹孔以限定所述底座的位置,所述底座的中心设置有定位孔。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述定位孔的形状与芯片的形状一致。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,还包括设置于所述定位孔边缘的镊子夹孔。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,还包括设置于所述底座上用于支撑所述底座的凸起,所述凸起设置于所述支撑腿的外侧。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述凸起的高度为0.5mm~1mm。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述底座为长方体或正方体,所述底座的两个面上分别设置有拾取部件,所述两个面相对设置。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述支撑腿的高度小于等于所述螺纹孔的深度。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述夹具还包括与所述下夹片配合使用的上夹片。

可选的,在所述的夹具的中心点定位器中,所述上夹片及所述下夹片均为方形且大小相同。

本实用新型还提供一种夹具,所述夹具包括如上所述的夹具的中心点定位器。

在本实用新型所提供的夹具的中心点定位器及夹具中,底座上的支撑腿贯穿螺纹孔来限定底座与下夹片接合在一起时两者的相互位置,相当于底座与下夹片空间上重叠,此时底座的中心设置的定位孔在下夹片的投影位置即为下夹片的中心点的位置,避免了在制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中,由于通过肉眼选定下夹片的中心点位置,使芯片偏离下夹片的中心点而使制备的样品失败的问题,准确的将芯片黏贴到下夹片的中心点位置,提高了样品制备的成功率,减少了样品制备过程所耗费的时间。

附图说明

图1是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的结构示意图;

图2是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器装载在夹具的下夹片上时的示意图;

图3是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的侧视图;

图4是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的俯视图;

图5是现有技术与采用夹具的中心点定位器后制备的样品成功率结果示意图。

图1-图4中:

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