[实用新型]用于滤光片镀膜的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及滤光片镀膜领域，特别涉及一种用于在滤光片镀膜过程中使用的紊流筒。

背景技术

光通信是指以光作为信息载体而实现的通信方式，按传输介质的不同可分为大气激光通信和光纤通信两种。光通信具有通信容量大、传输距离长、抗电磁干扰、传输质量佳、信号串扰小、保密性好等优点，是未来传输网络发展的最终目标，具有非常广阔的市场前景。在光通信产品的双向收发器模块中，通过选定波长的雷射讯号，而反射不需要的波段通常采用滤光片(edge filters)实现，可以说滤光片在光通信产品中起着致关重要的作用。带通滤光片是一种可从复合光中分离出某一波段单色光的光学器件，带通滤光片是通过在透光基片上镀电介质金属膜制成的，其利用电介质金属膜的干涉作用来从入射光中选取特定波段的光使其通过。滤光片上带通的宽度由滤光片上电介质金属膜的厚度决定，因此为了保证滤光片的质量，必须要保证滤光片上的厚度一致。

目前滤光片的镀膜多使用镀膜机，将滤光片设置在镀膜伞上，由于蒸镀源蒸镀时蒸发物浓度高低不同，因此会使镀膜伞上的膜厚度出现不一致。为此中国实用新型专利(专利号：201210050222.5)一种镀膜机修正板结构，该镀膜机修正板结构直接在镀膜机镀膜腔内设置一支撑柱，并通过连接柱连接修正板，这样在进行镀膜时只需将修正板旋转至蒸镀源与镀膜伞架之间，即可进行镀膜，镀膜完成后只需反向旋转修正板至初始位置即可，使用起来非常的方便，而且修正板旋转的角度可控，这样就可以保证每次镀膜时修正板定位的精确性，提高滤光片的镀膜质量。这种镀膜结构虽然在一定程度上能修正镀膜厚度不一致的问题，但实现起来发现效果并不是特别理想，因此有必要设计一种新的滤光片的镀膜结构，以解决滤光片上镀膜厚度不一致的问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供了一种能在蒸镀过程中，使滤光片上的镀膜厚度更加一致的装置。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：一种用于滤光片镀膜的装置，其包括一外筒和一内筒，所述内筒位于所述外筒内，所述外筒与所述内筒同轴设置，所述外筒与所述内筒之间通过数个均匀分布的紊流片连接，所述紊流片具有一定扭曲角度。

进一步地，所述外筒的两端大、中间小。

进一步地，所述紊流片的扭曲角度为13-17°。

进一步地，所述紊流片的扭曲角度为15°。

进一步地，所述紊流片的外表面设有导流槽。

本实用新型实施例提供的用于滤光片镀膜装置具有如下有益效果：该用于滤光片镀膜装置在使用时，将其罩在蒸镀源上，当蒸镀源挥发出的蒸发物通过该紊流筒时，紊流片会改变蒸发物的流动方向，相当于对蒸发物进行螺旋搅拌，这样就能使流过该紊流筒的蒸发物更加的均匀，进而使滤光片上的镀膜厚度一致。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的主视图。

图2为本实用新型实施例的俯视图。

图3为本实用新型实施例使用状态的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语″中心″、″上″、″下″、″前″、″后″、″左″、″右″、″竖直″、″水平″、″顶″、″底″、″内″、″外″等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语″第一″、″第二″仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有″第一″、″第二″的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，″多个″的含义是两个或两个以上。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语″安装″、″相连″、″连接″应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。