[实用新型]基底键合装置

权利要求书

1.一种基底键合装置，其特征在于，包括：

若干垫片，所述若干垫片沿基底的边缘均匀分布，所述若干垫片位于与基底表面对应的平面上，所述垫片包括相互连接的凸部和延伸部，所述凸部延伸至基底的边缘以外，所述延伸部自所述凸部开始沿基底的边缘延伸预设长度，所述延伸部包括用于接触基底表面的接触面，所述接触面包括第一边界和第二边界，所述第一边界为对应于基底周长的弧形，所述第二边界平行于第一边界，且所述第二边界比第一边界到基底圆心的距离小；

若干夹具，所述若干夹具沿基底周长均匀分布，且所述夹具位于相邻垫片之间。

2.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述垫片的数量大于或等于所述夹具的数量。

3.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述第一边界与基底的边缘重合。

4.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述延伸部位于所述凸部的一侧或两侧。

5.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述延伸部的第一边界长度为40毫米～120毫米。

6.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述第一边界与第二边界之间的距离为2.5毫米～3毫米。

7.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述垫片的厚度为300微米～1000微米。

8.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，所述夹具的数量为2～5个。

9.如权利要求8所述的基底键合装置，其特征在于，当所述夹具的数量为2个时，所述夹具位于基底直径的两端。

10.如权利要求1所述的基底键合装置，其特征在于，还包括：相对设置的上盖板和承载基底，所述上盖板和承载基底的表面平行于基底表面；腔室，固定有基底的垫片、夹具、上盖板和承载基底置于所述腔室内，用于进行基底键合工艺。

11.如权利要求10所述的基底键合装置，其特征在于，所述夹具包括夹具基底、夹具体部和夹具头，所述夹具体部垂直于基底表面，所述夹具基底和夹具头分别与夹具体部两端连接，且所述夹具基底和夹具头平行于基底表面；所述夹具体部与所述夹具基底可动连接。