[实用新型]一种全自动蚀刻工艺流水线有效
| 申请号： | 201420705747.2 | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN204157169U | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 何公明;梁泰频;王满根;邢慧颖;章惠珍;杨正军;郭永华;曾旭;尹国钦 | 申请（专利权）人： | 宁波东盛集成电路元件有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 蚀刻 工艺 流水线 | ||
1.一种全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述全自动蚀刻工艺流水线包括依次连接的放卷机构(1)、印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)；所述印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)均设置有穿插其内部并输送料带的轨道(10)，所述轨道(10)包含有左支架(11)、右支架(12)、驱动电机(13)、若干个传送轮(14)和若干个平行排列的滚轴(15)，所述左支架(11)与右支架(12)均横向穿插在印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、去膜机构(6)、清洗机构(7)、烘干机构(8)和包装机构(9)的内侧，所述滚轴(15)的两端分别与左支架(11)与右支架(12)旋转连接，所述传送轮(14)轴向均布在滚轴(15)上用于传送料卷，所述驱动电机(13)与其中的一根或者多个滚轴(15)旋转。
2.根据权利要求1所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述印刷机构(2)、曝光机构(3)、显影机构(4)、蚀刻机构(5)、清洗机构(7)和烘干机构(8)的顶面设置有一个对其产生的气体进行过滤的空气过滤系统(16)。
3.根据权利要求2所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述轨道(10)为一条或者多条。
4.根据权利要求3所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述轨道(10)为多条时，所述多条轨道(10)水平放置并对接。
5.根据权利要求4所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，所述每个滚轴(15)设置有10个传送轮(14)。
6.根据权利要求5所述的全自动蚀刻工艺流水线，其特征在于，相邻传送轮(14)之间设置有间隙。
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