[实用新型]一种手动片盒清洗装置

说明书

技术领域

本发明创造属于清洗装置领域，尤其是涉及一种手动片盒清洗装置。

背景技术

随着半导体硅片行业竞争的日益加大，产能的提升已成为必然的趋势。而目前对硅片片盒进行清洗主要采用自动清洗机。自动清洗机虽然实现了部分自动化控制，解脱了人工操作，但是自动清洗机只能同时针对三种规格硅片片盒进行清洗，单批次清洗片盒数量较小，工作效率低，整个清洗时间长，能源消耗大，同一规格自动清洗机对片盒的尺寸有比较多的限制，其兼容性能远远不能满足硅片产能需要。

发明内容

本发明创造要解决以上技术问题，提供一种手动片盒清洗装置。

为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是：一种手动片盒清洗装置，包括冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU设备、水槽排放液系统、注水系统、箱体和内嵌于所述箱体内的工作台，所述冲洗槽、刷洗槽和浸泡槽均位于所述工作台上，所述刷洗槽和所述冲洗槽分别位于所述浸泡槽的两侧，所述FFU设备位于所述箱体上方，所述水槽排放液系统和所述注水系统分别与所述冲洗槽、刷洗槽、浸泡槽连接，所述工作台由孔板组成。

进一步，所述水槽排放液系统包括冲洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路，所述冲洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路结构相同，均包括排水管路和设于所述排水管路上的排水开关，所述冲洗槽排放支路的所述排水管路与所述冲洗槽相连，所述刷洗槽排放支路的所述排水管路与所述刷洗槽相连，所述浸泡槽排放支路的所述排水管路与所述浸泡槽相连。

进一步，所述注水系统包括冲洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路，所述冲洗槽注水支路、刷洗槽注水支路和浸泡槽注水支路结构相同，均包括注水管路和设于所述注水管路上的注水开关，所述冲洗槽注水支路的所述注水管路与所述冲洗槽相连，所述刷洗槽注水支路的所述注水管路与所述刷洗槽相连，所述浸泡槽注水支路的所述注水管路与所述浸泡槽相连。

进一步，还包括溢流系统，所述溢流系统包括冲洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路，所述冲洗槽溢流支路、刷洗槽溢流支路和浸泡槽溢流支路结构相同，均包括溢流管路、设于所述溢流管路上的溢流开关、溢流调节阀和流量计，所述冲洗槽溢流支路的所述溢流管路与所述冲洗槽相连，所述刷洗槽溢流支路的所述溢流管路与所述刷洗槽相连，所述浸泡槽溢流支路的所述溢流管路与所述浸泡槽相连。

进一步，还包括水枪，所述水枪与所述注水管路相连。

本发明创造具有的优点和积极效果是：一种手动片盒清洗装置，其水槽供水、溢流及排水均由气动阀控制，每个水槽有注水开关，排水开关，溢流开关和溢流量调节阀，装置操作简便、安全性高，不需要买免洗片盒，能同时对多个不同规格硅片片盒进行清洗，不仅降低了生产成本，而且大大节省了片盒清洗的时间，提高了片盒清洗的产能。除此之外，操作台上方配置FFU设备，为硅片片盒清洗工作提供了一个洁净的微环境。

附图说明

图1是本发明创造结构示意图；

图2是水槽排放液系统和注水系统连接示意图。

图中：1、冲洗槽；  2、刷洗槽；  3、浸泡槽；  4、FFU设备；

5、箱体；  6、工作台；  7、排水开关；  8、排水管路；

9、注水管；  10、注水开关；  11、溢流管路；  12、溢流开关；

13、溢流调节阀；  14、流量计；  15、水枪。

具体实施方式

下面结合附图对本发明创造的具体实施例做详细说明。

如图1、2所示，一种手动片盒清洗装置，包括冲洗槽1、刷洗槽2、浸泡槽3、FFU设备4、水槽排放液系统、注水系统、箱体5和内嵌于所述箱体5内的工作台6，所述冲洗槽1、刷洗槽2和浸泡槽3均位于所述工作台6上，所述刷洗槽2和所述冲洗槽1分别位于所述浸泡槽3的两侧，所述FFU设备4位于所述箱体5上方，所述水槽排放液系统和所述注水系统分别与所述冲洗槽1、刷洗槽2、浸泡槽3连接，所述工作台6由孔板组成。

所述水槽排放液系统包括冲洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路，所述冲洗槽排放支路、刷洗槽排放支路和浸泡槽排放支路结构相同，均包括排水管路8和设于所述排水管路8上的排水开关7，所述冲洗槽排放支路的所述排水管路8与所述冲洗槽1相连，所述刷洗槽排放支路的所述排水管路8与所述刷洗槽2相连，所述浸泡槽排放支路的所述排水管路8与所述浸泡槽3相连。