[实用新型]干版除尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示面板的光罩加工领域，尤其涉及一种干版除尘装置。

背景技术

随着显示技术的发展，对光罩产品的精度要求也在提高，光罩刻画的线条也越来越细，产品产生断线导致报废的几率也相应提高，尤其对于干版而言更为甚。由于干版的负性胶特征，干版原材的清洁度对产品良率影响重大，原材表面的灰尘会导致产品图形形成各种白缺陷，如白凸、针孔和断线甚至图形缺失，干版的缺陷主要也是白缺陷，一般的白缺陷可以使用化学物质进行修补，但对于小线条上的白缺陷或图形缺失，以目前行业内的修补方法是无法进行修复的，所以对于此类的不良产品只能作报废处理。在无法保证干版原材洁净度的情况下，产品的不良率和报废率一直处于一个比较高的水平，分别为约80%和30%。

目前，在曝光前对干版原材的除尘方法是使用氮气枪吹，但收效甚微。这是因为，干版原材膜面上的灰尘与光刻胶面之间会有一定的静电吸附力，气枪除尘方式由于是通过空气作用力来清除，只能去除膜面上较大颗粒的灰尘（约0.2mm以上），对于细微的灰尘（约0.2mm以下）基本无法清除掉，在曝光过程中，这些灰尘就会挡住激光，使光刻胶无法感光，对应制造出来的干版图形，无感光的地方就会变成白区，即透光区域，而原本是黑区的地方因为灰尘的存在就会形成针孔、白凸或断线等（灰尘的大小不同缺陷类型也不同），此类缺陷必须通过人工方式进行修补处理，难度很大，一般只能修补线宽在50um以上的缺陷，线宽太小的只能作报废处理，由于光罩图形中50um以下的线很常见，因此干版的报废率非常高。

实用新型内容

本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种除尘效果好，产品良率高，报废率低的干版除尘装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种干版除尘装置，用于对干版的膜面进行除尘，所述干版除尘装置包括滚轮架和转动地设于滚轮架上的粘尘滚轮，且粘尘滚轮的长度与干版对应边的长度相匹配，所述滚轮架包括连接杆，及设于连接杆上的手柄和轴承，所述轴承为单向轴承，所述轴承穿过所述粘尘滚轮并通过轴承螺丝固定于连接杆对应叉架的末端。

进一步地，所述粘尘滚轮采用硅胶材料制成。

进一步地，粘尘滚轮的长度为0.2m至0.5m。

进一步地，粘尘滚轮的长度为0.3m。

进一步地，所述连接杆呈U形，手柄设于连接杆的中部。

进一步地，所述连接杆和轴承呈L形，手柄设于连接杆的末端。

本实用新型实施例的干版除尘装置的有益效果是：通过采用粘尘滚轮转动地设于滚轮架上，且粘尘滚轮的长度与干版对应边的长度相匹配的技术手段，从而能够更有效地去除干版的膜面上的灰尘，减少产品白缺陷的产生，进而提高了产品良率，降低报废率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的干版除尘装置的结构示意图。

图2是本实用新型实施例的干版除尘装置的使用状态示意图。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。

请参考图1至图2，本实用新型实施例提供了一种干版除尘装置，用于对干版100的膜面进行除尘，弥补了氮气枪除尘的不足，尤其适用于0.2mm以下的细微灰尘的去除，所述干版除尘装置包括滚轮架10和转动地设于滚轮架10上的粘尘滚轮20，且粘尘滚轮20的长度与干版100对应边的长度相匹配，从而方便一次性滚动除尘，而无需来回反复滚动进行除尘，提高了除尘效率，较少操作产生的二次污染。

优选地，所述粘尘滚轮20采用硅胶材料制成。所述粘尘滚轮20的长度为0.2m至0.5m，优选地，所述粘尘滚轮20的长度为0.3m。

所述滚轮架10包括连接杆11，及设于连接杆11上的手柄12和轴承13。

作为一种实施方式，如图2所示，所述连接杆11呈U形，所述轴承13穿过所述粘尘滚轮20并通过轴承13螺丝固定于连接杆11对应叉架的末端，手柄12设于连接杆11的中部。所述U形的连接杆11，使得粘尘滚轮20两端受力均衡，结构稳定，除尘效果全面、均匀。

作为另一种实施方式，所述连接杆11和轴承13呈L形，手柄12设于连接杆11的末端。