[实用新型]一种电沉积系统

说明书

技术领域

本实用新型属于电沉积领域，尤其涉及一种电沉积系统。

背景技术

厚度均匀性是衡量沉积层质量的一项重要指标。沉积层厚度不均是长期以来备受关注的问题。分析表明，阴极表面电流密度和流场分布不均是导致沉积层厚度不均的决定性因素。电沉积过程中，由于阴极表面电流密度及流场分布的不均匀性，沉积面大都呈现边缘高、中间低的“马鞍”状。

专利号200810200426.6的“微电铸装置”采用一种电场再分配挡板来解决阴极表面电流密度分布不均问题，获得不错的效果。专利号201210024051.9的“一种微细电铸机床”则采用阴极振动的方法，较好地解决了阴极表面流场分布不均问题。然而，上述方法往往只重视其中一个方面，尚不能从根本上解决沉积层厚度不均问题。所以，有必要开发一种电沉积系统，以能协同解决阴极表面电流密度和流场分布不均问题，进而获得厚度分布均一的沉积层。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种既能实现均匀流场分布又能获得均一电流密度分布的电沉积系统，以期最大限度地解决沉积层厚度不均问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种电沉积系统，包括电沉积槽、阴极和阳极；所述的电沉积槽还包括阴极屏蔽板和阴极振动机构；所述的阴极振动机构包括水平置于电沉积槽上方的阴极固定杆；所述的阴极固定安装于阴极固定杆上；所述的阴极屏蔽板平行放置于阴极、阳极之间。

所述的阴极固定杆能做水平直线往复振动，振幅为30mm～60mm。

所述的阴极屏蔽板的材质为聚丙烯等非导电耐腐蚀的非金属材料。

所述的阴极屏蔽板的截面形状与阴极相似，其面积为阴极面积的1.5倍，且中心开有形状与阴极截面形状相似的孔洞，孔洞面积是阴极面积的三分之二。

所述的阴极屏蔽板的位置相对于阴极可以调节。

本实用新型的优点是能同时解决阴极表面电流密度和流场分布不均问题。

附图说明

图1是一种电沉积系统示意图。

具体实施方式

下面结合附图1对本实用新型的实施作进一步描述。

如图1所示，一种电沉积系统，包括电沉积槽1、阴极8和阳极4。

电沉积槽1还包括阴极屏蔽板6和阴极振动机构；阴极振动机构包括水平置于电沉积槽1上方的阴极固定杆2；阴极固定杆2两端装有滚轮7；阴极8通过螺钉固定安装于阴极固定杆2上；阴极振动机构通过阴极固定杆2带动阴极8做水平直线往复振动，振幅为40mm。

阴极屏蔽板6的材质为聚丙烯。

阴极屏蔽板6的截面形状与阴极8相似，其面积为阴极8面积的1.5倍，且中心开有形状与阴极8截面形状相似的孔洞5，孔洞5的面积是阴极8面积的三分之二。

阴极屏蔽板6插在位于电沉积槽1两侧壁和底部的卡槽3内，且与阴极8和阳极4平行；阴极屏蔽板6与阴极8的距离为10cm。