[实用新型]一种六氟化硫微水密度在线监测装置

权利要求书

1.一种六氟化硫微水密度在线监测装置，包括传感模块及后台处理模块，所述传感模块以及相应电路组装在密封气腔内，通过三通连接到六氟化硫气室，通过数据传输至后台处理模块进行监控；其特征在于：所述在线监测装置还包括集中监控模块，所述集中监控模块包括数据采样转换用的中央单片机和处理数据用的监控主机，所述中央单片机通过总线连接到监控主机；所述传感模块分为若干传感单元，每个传感单元包括露点传感器、压力传感器、温度传感器及单元单片机，用于测量气室内六氟化硫气体的露点、压力、温度，并由单片机进行数据统计与处理；所述在线监测装置还包括报警模块，所述报警模块与监控主机相连，能够通过监控主机发出报警信号，所述报警模块包括声光报警器；所述后台处理模块包括显示数据的显示屏及操作用的键盘，后台处理模块通过以太网与集中监控模块进行数据连通。

2.按照权利要求1所述的一种六氟化硫微水密度在线监测装置，其特征在于：所述的露点传感器采用薄膜电容湿度传感器。

3.按照权利要求1所述的一种六氟化硫微水密度在线监测装置，其特征在于：所述温度传感器采用单片集成两端感温电流源的集成温度传感器。

4.按照权利要求1所述的一种六氟化硫微水密度在线监测装置，其特征在于：所述压力传感器采用扩散硅压力变送器，所述扩散硅压力变送器的测量范围为 0～1MPa。

5.按照权利要求1所述的一种六氟化硫微水密度在线监测装置，其特征在于：所述单元单片机及中央单片机均采用嵌入式集成单片机。