[实用新型]一种新型填充装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜生产机械，具体涉及真空镀膜生产线上真空腔室里面的一种填充装置。

背景技术

低辐射磁控溅射镀膜生产的时候需要一个真空环境，而且在生产过程中需要提高效率，故而泵在腔体内抽真空的时候需要尽量减小腔体内的容积，这就需要一种填充装置来减小腔室内的容积。

现有技术中，所用的填充装置就是一个实心块状体。

以上现有技术主要由以下几点不足：

实心决状体的填充装置虽然对真空镀膜生产线上的真空腔室起到一定的填充作用，但是因真空腔室内部经常要进行维修和清洗，在每次维修和清洗时都需要将填充装置取出后才能进行，由于实心块状体的填充装置质量大，就造成了很大的不便；并且，另一方面也浪费了材料，造成造价过高。

发明内容

本实用新型目的是提供一种新型填充装置，以解决现有技术存在的在维修、更换等需要搬运时不便的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种新型填充装置，包括一截面为方形的钢管以及两块方形端板，所述两块方形端板焊接封设在所述方形钢管的两端，以此构成一空心的矩形立方体；并且，仅一块所述方形端板上设有一个检漏用的螺纹孔，该螺纹孔上从外朝内螺纹连接有螺栓，该螺栓头部与螺纹孔端部间垫设有密封垫圈，以使整个空心的矩形立方体内腔密封。

上述技术方案中的有关内容进一步变化如下：

1、所述方形钢管由一整块矩形不锈钢板折弯后并焊接成形。

2、本填充装置还包括把手，该把手设置于所述方形端板上。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型减轻了重量，为检修、安装、搬运等提供了方便；

2、本实用新型端板上仅设有一个螺纹孔的形式，既不影响检漏操作，又能有效地减小螺纹孔对气密性的影响。

附图说明

图1为本实用新型结构主视示意图；

图2为图1的左视示意图。

以上附图中：1、方形钢管；2、方形端板；21、螺纹孔；3、螺栓；4、密封垫圈。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例：参见图1、图2所示:

本实施例涉及一种新型填充装置，其包括一截面为方形的钢管1以及两块方形端板2，所述两块方形端板2焊接封设在所述方形钢管1的两端，以此构成一空心的矩形立方体。并且，仅一块所述方形端板2上设有一个检漏用的螺纹孔21，该螺纹孔21上从外朝内螺纹连接有螺栓3，该螺栓3头部与螺纹孔21端部间垫设有密封垫圈4，以使整个空心的矩形立方体内腔密封。

所述方形钢管1由一整块矩形不锈钢板折弯后并焊接成形。

本实施例填充装置还包括把手，该把手设置于所述方形端板2上。

本实施例在制作好后需要对焊缝进行检漏工作，此时就是拆下螺栓3，通过螺纹孔21接检漏用抽真空设备进行检漏，检漏通过后拧上并拧紧螺栓3即可。

与现有技术实心块的填充装置相比，本实施例大大减轻了重量，这样为搬运提供了方便，并且仅在一端设一个检漏用的螺纹孔21，通过螺纹孔21进行检漏工作，仅设一个小小的螺纹孔21，最大限度了减小了对气密性的影响。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。