[实用新型]高灵敏度体声波硅微陀螺仪

权利要求书

1.一种高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：包括圆盘形谐振子，支撑圆柱，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的检测电极，检测电极固定凸台和基板；陀螺仪采用圆盘状谐振子的两个面内四波幅波节频率匹配模态作为驱动模态和检测模态，驱动模态和检测模态具有相同的振型，且其径向振动正交，即驱动模态的波幅为检测模态的波节，驱动模态的波节为检测模态的波幅；具有位移放大机构的检测电极由驱动臂、柔性铰链、平板电容极板组成，共有四个，驱动臂一端在圆盘谐振子半径方向和谐振子驱动模态的波节点固定连接，另一端和平板电容极板中部固定连接，柔性铰链一端固定在检测电极凸台上，另一端和平板电容极板的一端固定连接，驱动臂和平板电容极板的连接点靠近柔性铰链一端，以增大位移放大系数。

2.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：所述圆盘形谐振子上开有关于圆心对称均匀分布的贯穿孔，可以通过改变孔的大小调节谐振子的刚度，圆盘形谐振子通过重离子掺杂的工艺提高其电导率。

3.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：所述支撑圆柱为圆柱形，支撑圆柱和圆盘形谐振子同心，一端同圆形谐振子中心固定，另一端同基板固定，支撑圆柱半径和圆盘形谐振子半径之间的比值小于1:20。

4.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：所述圆弧形驱动电极和圆盘状谐振子同心，圆弧形驱动电极位于圆盘形谐振子驱动模态的波幅处，共有四个，圆弧形驱动电极和圆盘状谐振子之间的间隙为1-10μm，间隙的深宽比小于20:1，圆弧形驱动电极通过重离子掺杂的工艺提高其电导率。

5.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：检测电极固定凸台和圆盘形谐振子同心，检测电极固定凸台位于圆盘形谐振子检测模态的波幅处，共有四个，检测电极固定凸台的外径和圆弧形驱动电极外径大小相同，检测电极凸台内壁和检测电极中平板电容极板对应的部分为平面，检测电极凸台内壁平面和平板电容极板平行。

6.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：所述基板为圆盘形，基板和圆盘形谐振子同心，半径和圆弧形检测电极固定凸台以及圆弧形驱动电极的外径相同，检测电极固定凸台、圆弧形驱动电极和支撑圆柱固定在基板上。

7.基于权利要求1所述的高灵敏度体声波硅微陀螺仪，其特征在于：所述圆盘形谐振子，支撑圆柱，圆弧形驱动电极，具有位移放大机构的检测电极，检测电极固定凸台和基板全部通过在（111）晶向的硅片上通过微机械电子加工工艺制作而成。