[实用新型]静电量测装置及使用该静电量测装置的消除静电系统

说明书

技术领域

本实用新型有关于一种静电量测装置，特别是指一种非接触式的静电量测装置，及一种静电消除系统，特别是指一种使用该静电量测装置的消除静电系统。

背景技术

半导体的相关电子产品需求量的日益趋增，消费者对电子产品演进为追求轻、薄、短、小的诉求，且电子元件不断的缩小尺寸，相对于半导体件的电子封装技术也随的推陈出新，研发出突破现有的技术，以符合市场上电子产品的需求。

再者，半导体产品的制造成本与附加价值均属高价，且产品的良率将为影响最终电子商品功能的必要关键，所以半导体件制造过程中的每个阶段、每一个半导体件产品，都有着层层的测试及检验以为最终的电子产品的品质作把关。

一般而言半导体产品测试制程是指件封装之后检测封装后件的电信功能与外观的测试制程，半导体产品测试的流程包括了上线备料、测试机台测试、电性抽测、标签扫描、人工或机器检脚、检脚抽检与弯脚修整、包装等等作业流程，其中，测试机台测试中的分类机（Handler）主要在于判断待测的半导体产品是否已于制程中毁坏或静电破坏，所谓静电是指由物体接触与分离时负电离子的移动所造成物体偏正电或是负电的效应，使该体积小的半导体产品，因静电放电（Electrostatic Discharge，ESD）被打穿、烧毁、劣化、破坏等等情况所毁坏而失效，因此静电防护成为半导体产业需要克服的课题之一。

半导体产业中的制程环境多半于无尘室进行，而因无尘室环境较低的相对湿度促使静电容易存留堆积，所以静电于无尘室里是必然会产生的现象，目前所使用的静电防护有戴静电接地手环、抗静电工作鞋、离子风扇、静电棒等等，半导体产品测试制程中，操作人员于测试制程中，需要使用人工或机器将半导体件由半导体承载治具(例如半导体Tray盘)中移动至目前的测试制程机台。

等该待测的半导体产品一一测试完毕，再由目前的测试制程的机台移动至半导体Tray盘中，由于不同的测试制程会使用不同功能的机器来处理，所以半导体产品将因此而被移动至不同的机台，再继续进行下一测试制程，而在移动的过程当中若操作人员的静电防护因为个人疏失或是装置本身所引起的损坏而使半导体产品产生静电污染，对于已完成数十道甚至上百道制程的半导体件将因此而毁于一旦。

现有的消除静电的设备，其实际使用时仍然有以下的缺点产生：

一、无完全消除静电功能

以往半导体制程中，欲将生产的产品表面的静电值消除，通常不会设置静电量测器而只设置一个离子产生器，产生正负离子以交互吹向生产线上的产品，虽然具有减低静电值的功效，但是单纯以固定产生正负离子吹向产品是无法完全将静电电荷消除地，尤其环境所产生的静电是无法控制的，无法配合产品表面的静电值以产生相反的电荷中和，是无法发挥消除静电的最大功效。

二、无法纪录静电消除履历

如上所述得知，没有使用静电量测器来感测产品表面的静电值，无法产生数据加以记录，当产品制程发生问题时，并无法由消除静电这个环节推敲问题的所在，也无法提供客户确切的相关数据。

三、与待测产品接触

传统的静电感测装置通常使用侦测探针，接触该待测静电值的待测产品以获取静电值值，但是接触式的探针不仅有机会造成该待测产品发生物理性的破坏，其单点量测也无法准确量测该待测产品的静电值。

由于静电不会平白无故消失在环境之中，只要有静电产生一定会造成破坏，且往往一次的静电破坏所带来了损失可能是数百万或数千万不等，为了提高产品的可靠度及避免静电破坏造成的危害，现有测试制程中排除静电的作法与设备环境，实属有必要再加以改进。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种静电量测装置。

本实用新型提供的用于检测一待测产品静电值的静电量测装置，包含：

一以非接触方式侦测该待测产品静电值的探头，与该待测产品间隔一段距离；及

一信号处理器，包括一转换该探头所侦测静电值数据的信号转换件，该信号转换件与该探头电连接。

    本实用新型的又一技术手段，是在于该信号处理器更包括一校正该信号转换件所转换静电值数据的微调件，该微调件与该信号转换件电连接。

本实用新型的再一技术手段，是在于该信号处理器更包括一显示该待测产品的静电值的显示件，该显示件与该信号转换件电连接。

本实用新型的另一目的，是在提供一种用于在输送装置移动的待测产品的消除静电系统，该输送装置包括一设置于该输送装置一端的进料口，及一相对该进料口设置于该输送装置另一端的出料口，并包含一第一静电量测装置、一控制装置，及一静电消除装置。