[实用新型]芯片探针卡十字校准模板有效
| 申请号： | 201420664439.X | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN204188668U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 隆英;张宛平;程佳敏 | 申请（专利权）人： | 上海依然半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R35/02 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 蔡沅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 芯片 探针 十字 校准 模板 | ||
【权利要求书】：
1.一种芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，包括金属模板和胶片模板，所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板，所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上，该胶片模板上设置有校准方格。
2.根据权利要求1所述的芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，所述的金属模板和胶片模板均为正方形，所述的金属模板和胶片模板贴合时二者中心重合。
3.根据权利要求1或2所述的芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，所述的金属模板的尺寸为114mm×114mm。
4.根据权利要求3所述的芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，所述的胶片模板的尺寸范围为50mm×50mm至74mm×74mm。
5.根据权利要求4所述的芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，所述的胶片模板的尺寸为60mm×60mm。
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