[实用新型]硅片切割机床制冷系统有效
| 申请号： | 201420658051.9 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN204278282U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘彬国;何京辉;李立伟;张立涛;菅书勇 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;B28D5/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 054001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 切割 机床 制冷系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片切割机床制冷系统，其特征在于：包括三台硅片切割机床和三台制冷机，所述三台硅片切割机床的冷却水进水管路、回水管路分别并联到总进水管路、总回水管路上，所述三台制冷机的出水管、回水管再分别与总进水管路、总回水管路相连。
2.根据权利要求1所述的硅片切割机床制冷系统，其特征在于：所述三台制冷机的出水管、回水管分别装有控制阀。
3.根据权利要求1所述的硅片切割机床制冷系统，其特征在于：所述三台制冷机分别与PLC控制面板相连，所述PLC控制面板的信号输出端分别与三台制冷机的控制端相连，所述PLC控制面板的信号输入端分别与三台制冷机的报警信号相连。
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