[实用新型]一种附加振动低压化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：包括由上端盖、进气法兰、筒体、排气法兰和下端盖构成的真空腔体，所述上端盖与进气法兰顶部密封连接，所述进气法兰底部与筒体顶部密封连接，所述筒体底部与排气法兰密封连接，所述排气法兰底部与下端盖密封固定连接，所述筒体周围套设有加热架，所述加热架内设有加热丝，所述上端盖上通过进气管路与一供气装置连通，所述排气法兰通过抽气管与一机械泵连通，所述机械泵上还设有排气管，所述真空腔体内竖直设有多根固定杆，所述固定杆上水平设有一弹簧板，所述弹簧板上设有一工作台，所述工作台上设有一收集板，所述工作台底部连接设有一连接孔，所述下端盖下方设有一激振器，所述激振器输出端连接配合以传输杆，所述传输杆穿透所述下端盖后伸入工作台底部的连接孔内，并分别与下端盖和工作台固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：所述固定杆为四根，四根固定杆均匀围成一圆形排列，每一固定杆顶部通过一滑销与进气法兰滑动配合连接，每一固定杆底部通过一固定销与排气法兰固定连接，所述滑销穿过所述进气法兰，并通过螺母与进气法兰固定连接，所述固定销穿过所述排气法兰，并通过螺母与排气法兰固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：所述弹簧板为环形弹簧板，所述环形弹簧板上均匀设有四个通孔，四根固定杆分别套设入四个通孔内，并通过螺母实现固定杆与环形弹簧板的固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：所述工作台为圆台形工作台，所述圆台形工作台的底部嵌入环形弹簧板的中部圆环内，所述圆台形工作台的台面焊接在环形弹簧板的表面，圆台形工作台在环形弹簧板支撑下处于平衡状态。

5.根据权利要求1所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：所述工作台为圆台形工作台，所述收集板为圆形收集板，所述圆形收集板周边通过一圆环形夹具与圆形工作台实现固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：所述排气法兰底部与下端盖直接还套接有波纹管，所述波纹管上端与排气法兰底部密封连接，所述波纹管下端与下端盖密封连接。

7.根据权利要求1所述的一种附加振动低压化学气相沉积装置，其特征在于：还包括一控制器，所述控制器包括加热控制线路和激振信号控制线路，所述加热控制线路与加热丝电性连接，用于控制加热丝的开关及加热功率，所述激振信号控制线路与激振器电性连接，用于控制激振器的开关及激振频率。