[实用新型]一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器有效
申请号: | 201420653338.2 | 申请日: | 2014-11-04 |
公开(公告)号: | CN204177507U | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 徐兴才;徐雷;严群丰 | 申请(专利权)人: | 徐兴才 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L9/06 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 齐平膜压阻式 陶瓷 压力传感器 | ||
1.一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,包括瓷环,通过玻璃釉浆料印刷烧结在该瓷环上部的陶瓷弹性膜片,以及通过导电浆料印刷烧结在该瓷环下部的信号调理电路;其中,所述陶瓷弹性膜片上均匀设置有与所述瓷环上的四个瓷环通孔分别连接的四个焊盘,以及与所述焊盘相连接以构成惠斯顿电桥的四个桥路电阻;任意两个所述焊盘与任意两个所述桥路电阻之间分别设置有一个桥路修调电阻;其中,所述瓷环和陶瓷弹性膜片均为方形或圆形结构。
2.如权利要求1所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述瓷环中部设置有瓷环盲孔,所述瓷环盲孔的直径在3-8mm之间,深度在2-4mm之间。
3.如权利要求2所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述瓷环盲孔中部开设有表压通孔,所述表压通孔的直径在0.3-1.2mm之间。
4.如权利要求2所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述瓷环盲孔的直径为5mm,深度为3mm。
5.如权利要求3所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述表压通孔的直径在0.5-1.0mm之间。
6.如权利要求5所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述表压通孔的直径为0.8mm。
7.如权利要求6所述的一种新型齐平膜压阻式陶瓷压力传感器,其特征在于,所述信号调理电路上设置有与所述瓷环通孔对应连接的通孔焊盘,与所述表压通孔对应连接的表压通孔焊盘,以及与外部柔性电路板连接的连接线。
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