[实用新型]一种平面光波导分路器芯片以及加工系统

权利要求书

1.一种平面光波导分路器芯片，包括

一芯层，所述芯层由若干个光波导排列组成；

一上包层，所述上包层设置在芯层上表面；

一下包层，所述下包层设置在芯层下表面；

其特征在于，该芯片还包括与下包层粘合在一起的玻璃盖板。

2.根据权利要求1所述的一种平面光波导分路器芯片，其特征在于：所述芯层由折射率较大的纯SiO₂材质构成。

3.根据权利要求1所述的一种平面光波导分路器芯片，其特征在于：所述玻璃盖板与下包层使用UV胶粘接在一起。

4.一种用于加工权利要求1-3之一所述的芯片的加工系统，包括切割装置、研磨装置、清洗装置、测试装置和粘贴固化装置；

该加工系统按照粘贴固化装置、切割装置、研磨装置、清洗装置和测试装置的加工顺序一次对芯片进行加工；

其特征在于，所述粘贴固化装置包括底层固定板、支架、上层挤压板和螺旋测微器；

所述上层挤压板设置在底层固定板上方，在所述上层挤压板与底层固定板之间设有支撑柱，所述支撑柱沿底层固定板圆周方向均匀设置在底层固定板上，所述支架沿底层固定板圆周方向均匀设有在底层固定板上，并穿过上层挤压板，所述支架与支撑柱交叉设置在底层固定板上；

所述螺旋测微器设置在上层挤压板上，并且与设置在上层挤压板和底层固定板之间的支撑柱相对应；

在所述底层固定板上表面中心位置开设有晶圆盖板固定槽。

5.根据权利要求4所述的一种用于加工平面光波导分路器芯片的加工系统，其特征在于：所述清洗装置包括清洗夹具盘和清洗夹具提杆；

所述清洗夹具盘包括一圆盘体，所述圆盘体的上表面设置若干芯片安置槽，所述圆盘体中心位置设置有中心圆台，该中心圆台的中心位置穿设有内孔；

所述清洗夹具提杆包括一杆体和设置杆体一端的限位块，所述杆体与中心圆台上中心位置穿设的内孔相配合。

6.根据权利要求4所述的一种用于加工平面光波导分路器芯片的加工系统，其特征在于：所述测试装置包括底板和设置在底板两侧的三维反光镜调准装置和四维LED光源调整装置；

所述三维反光镜调准装置上端设有载物平台，在所述四维LED光源调整装置上端设有LED光源，并且在该装置一侧设有导轨滑道，在所述导轨滑道一端设有大屏幕数据表格。