[实用新型]草酸浓度控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及蚀刻液浓度测定控制设备领域，尤其涉及一种草酸浓度控制器。

背景技术

TFT、触摸屏ITO膜蚀刻液用量比较大，必须24H连续生产，对蚀刻液浓度控制必须实时进行，用化学滴定法，周期长，而且需要离线测量，不能很好的实时监控。实际在生产过程中，为了节省ITO膜蚀刻液的用量，ITO膜蚀刻液需要反复使用，一次加入量在400L左右，因此需要实时对草酸浓度进行测定以保证药液浓度在一定的可控范围内。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种草酸浓度控制器，根据草酸液的浓度与电导率曲线相关，通过实时测量药液的电导率计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度对系统进行补水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种草酸浓度控制器，包括主机台、计量补给部以及测定控制部；所述计量补给部包括酸液进入口、酸液回流口以及净水补给口；待测酸液从所述酸液进入口进入流经所述计量补给部后从所述酸液回流口流出；所述计量补给部向所述测定控制部提供部分所述待测酸液；所述测定控制部测量所述待测酸液的电导率并向所述计量补给部发出补给指令，控制所述净水补给口向所述酸液回流口提供净水补给。

进一步的，所述计量补给部还包括净水供应口，连接于外部净水源。

进一步的，还包括废液排放口。

本实用新型由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：

本实用新型由于设置了测定控制部和计量补给部，通过实时测量药液的电导率，根据草酸液的浓度与电导率曲线关系，计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度对系统进行补水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。

附图说明

图1为本实用新型草酸浓度控制器的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图进一步说明本实用新型的实施例。

请参见图1所示，一种草酸浓度控制器，包括主机台1、计量补给部2以及测定控制部3；所述计量补给部2包括酸液进入口4、酸液回流口5以及净水补给口8；待测酸液从所述酸液进入口4进入流经所述计量补给部2后从所述酸液回流口5流出；所述计量补给部2向所述测定控制部3提供部分所述待测酸液；所述测定控制部3测量所述待测酸液的电导率并向所述计量补给部2发出补给指令，控制所述净水补给口8向所述酸液回流口5提供净水补给。

优选的，所述计量补给部2还包括净水供应口7，连接于外部净水源。

优选的，还包括废液排放口6，用于草酸浓度控制器内的废液排出。

本实用新型通过测定控制部3通过实时测量药液的电导率，根据草酸液的浓度与电导率曲线关系，计算出药液的实时浓度，并根据实时浓度确定系统需要的补水量，然后向计量补给部2发出指令，通过净水补给口8向酸液回流口5补给净水，保证药液浓度在一定的可控范围内，减少了浓度波动对产品质量的影响。

请参见图1所示，根据生产需求，从刻蚀机台10中的TANK(储液箱)A or TANK B中给机台供液，供液的同时通过酸液进入口4给本实用新型草酸浓度控制器供应液体，测定控制部3测得供液的导电率,并计算得待测液的浓度，进而计算补水的量和时间，浓度偏得越高，相对补水时间越长。

综上所述，本实用新型根据药液的电导率，实时计算出药液的浓度，并进行控制，能更好的保证产品的质量，并且有效的延长药液的使用寿命，减少使用费用。