[实用新型]基于硅加热器的MEMS甲烷传感器

权利要求书

1.一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器，其特征在于：它包括P型硅衬底（01），P型硅衬底（01）上设有N型硅（02）；以所述P型硅衬底（01）上的N型硅（02）加工制备硅加热元件（101）；所述硅加热元件（101）包括两个固定端（102）、硅加热器（1011）、两个硅悬臂（1012）；所述单个的硅悬臂（1012）长度至少300um；单个所述的硅悬臂（1012）的一端与硅加热器（1011）相连，另一端与一个固定端（102）相连，为硅加热器（1011）提供电连接；所述两个硅悬臂（1012）平行并排设置、与硅加热器（1011）整体构成U形悬臂结构，将硅加热器（1011）悬于空气中；所述硅加热元件（101）的硅加热器（1011）及硅悬臂（1012）的外表面设有钝化保护层（22）； 所述固定端（102）设在P型硅衬底（01）上，包括N型硅（02）、N型硅（02）上的氧化硅层（20）及用作电引出焊盘金属Pad（21），所述电引出焊盘金属Pad（21）设在N型硅（02）之上的氧化硅层（20）上，且电引出焊盘金属Pad（21）通过氧化硅层（20）的窗口与其下面的N型硅（02）直接接触构成欧姆接触，电引出焊盘金属Pad（21）与其下的N型硅层（02）接触部分没有氧化硅层（20）；

在所述硅加热元件（101）的固定端（102）周围设置有去除掉N型硅的隔离沟槽（103），所述隔离沟槽（103）使所述硅加热元件（101）及其固定端（102）的N型硅与P型硅衬底（01）上的其余N型硅之间为高阻状态，尤其是使设在P型硅衬底（01）上的硅加热元件（101）的两个固定端（102）之间除了由硅悬臂（1012）和硅加热器（1011）构成的电通路之外无其它电路通路。