[实用新型]旋转工作台的吸嘴升降驱动机构有效

专利信息
申请号: 201420641028.9 申请日: 2014-10-31
公开(公告)号: CN204230212U 公开(公告)日: 2015-03-25
发明(设计)人: 李永备;蒋艳丽;张磊 申请(专利权)人: 扬州泽旭电子科技有限责任公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 扬州市锦江专利事务所 32106 代理人: 秦关华
地址: 225200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 旋转 工作台 升降 驱动 机构
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及半导体元件生产领域,具体为一种旋转工作台的吸嘴升降驱动机构。

背景技术

现有技术中,有一种用于半导体元件检测并筛选的检测装置,包括有旋转转盘,旋转转盘包括转盘,转盘的环周均布有若干吸嘴,在吸嘴的上端连接有用于带动吸嘴升降的驱动机构,该驱动机构是通过气缸带动吸嘴升降,因为气缸的工作速度较快,冲击力较高,容易造成吸嘴下端吸取的半导体元件损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种吸嘴升降驱动机构,该机构能够实现吸嘴下降加速度的连续变化,减小对半导体元件的冲击。

实现上述目的的技术方案是:旋转工作台的吸嘴升降驱动机构,包括电机支架,电机支架上安装有电机,电机支架的下端面固定有竖向设置的滑轨座,滑轨座上固定有竖向的滑轨,滑轨上设置有滑块,滑块上固定有顶杆滑块座,顶杆滑块座的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆;所述顶杆滑块座的一侧连接有水平设置的固定轴,固定轴上连接有轴承,所述电机的输出轴向下延伸到电机支架的下方,电机的输出轴上连接有升降凸轮,所述升降凸轮包括空心圆柱体,空心圆柱体的下端一侧设置有升降压块,所述升降压块与电机旋转方向相同的一侧端面为弧形曲面,电机旋转带动升降压块的弧形曲面下压轴承带动顶杆滑块座下行;所述滑轨座与顶杆滑块座之间连接有复位压簧。

本实用新型的吸嘴升降是通过电机驱动升降凸轮下压轴承实现的,升降凸轮的下端一侧设置有升降压块,升降压块与电机旋转方向相同的一侧端面为弧形曲面,通过升降凸轮的圆弧曲面逐渐下压轴承,避免了吸嘴的快速下行对半导体元件造成的冲击,减少了半导体元件的损坏,提高了经济效益。

本实用新型电机转动控制吸嘴升降,频率高、速度快,同时本实用新型可以通过更换不同高度的升降凸轮来调节吸嘴的升降高度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为图1的右视图;

图3为升降凸轮的结构示意图。

具体实施方式

如图1、2所示,包括电机支架1,电机支架1上安装有电机2,电机支架1的下端面固定有竖向设置的滑轨座3,滑轨座3上固定有竖向的滑轨4,滑轨4上设置有滑块5,滑块5上固定有顶杆滑块座6,顶杆滑块座6的下端固定有用于连接吸嘴装置的顶杆7。

顶杆滑块座6的一侧连接有水平设置的固定轴8,固定轴8上连接有轴承9,电机2的输出轴向下延伸到电机支架1的下方,电机2的输出轴上连接有升降凸轮10;滑轨座3的下部设置有弹簧座14,弹簧座14上连接有导杆15,导杆15上套置有复位弹簧16,复位弹簧16的上端与顶杆滑块座6连接。

如图3所示,升降凸轮10包括空心圆柱体11,空心圆柱体11的下端一侧设置有弧形的升降压块12,所述升降压块12与电机2旋转方向相同的一侧端面为弧形曲面13。吸嘴下行时,电机2旋转带动升降压块12的弧形曲面13下压轴承9带动顶杆滑块座6下行;吸嘴上行时,电机2旋转带动升降压块12转动,使升降凸轮10未设置升降压块12一侧端面朝向轴承9,顶杆滑块座6在复位弹簧16的作用下上行。

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