[实用新型]一种加热器的喷砂治具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种喷砂治具，尤其涉及一种加热器的喷砂治具。

背景技术

TxZ机型属于半导体制造其中一种生产设备，为薄膜制程设备中的其中一环，加热器(Heater)为TxZ机型中关键核心零件之一，请参阅图1，加热器1包括加热器顶板11和加热器立柱12，加热器顶板11呈圆盘形，加热器顶板11水平设置在加热器立柱12的顶端，且该加热器顶板11的中心与加热器立柱12的中轴线在同一直线上。

通常为控制生产设备中的微尘粒子(Particle)，客户端会要求生产商除了工件高质量的洗净要求外，亦会要求对于加热器特定区域利用喷砂的方式，增加表面的粗糙度，作为加强控制微尘粒子的方式。

客户端并非要求对于加热器进行全面性的喷砂，故必须区分出需喷砂区域与不需喷砂区域，不需要喷砂的区域进行遮护作业，防止在喷砂过程中砂材影响到不应该喷砂的部分，造成无谓的重复作业产生。

传统的遮护作业方式是采用胶带进行，将胶带贴附于加热器不需要喷砂的区域，做为隔绝的方式。但这种方式有以下缺点：

进行胶带遮护作业皆采人工进行，人工进行遮护作业需耗费大量时间，无法于短时间中大量的进行作业，人力使用效率偏低。

当胶带去除时会有残胶的产生，若后续去除作业未确实，客户端再使用加热器时，容易产生许多异常影响，会使客户端微尘粒子失去控制。这对客户端与生产商来说都是非常严重的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种加热器的喷砂治具，它操作简单容易，可保证TxZ机型的加热器喷砂质量。

本实用新型的目的是这样实现的：一种加热器的喷砂治具，所述加热器包括加热器顶板和加热器立柱，所述加热器顶板呈圆盘形，所述加热器顶板水平设置在所述加热器立柱的顶端，且该加热器顶板的中心与所述加热器立柱的中轴线在同一直线上，所述喷砂治具包括底板、筒体和顶盖，其中：

所述底板呈圆盘形且水平设置；

所述筒体为长方形筒体，该筒体垂直设置在所述底板的上表面上，所述筒体的下端面的对角线的长度小于所述底板的直径；

所述顶盖呈长方体形状，所述顶盖安装在所述筒体的顶端，所述顶盖的中间开设一上下贯通的方形孔，所述筒体与所述顶盖的高度之和大于或等于所述加热器立柱的高度，所述顶盖的下端面的尺寸大于所述筒体的上端面的尺寸，所述顶盖的上端面的对角线的长度大于所述加热器顶板的直径；

所述底板、筒体和顶盖一体成型；。

所述加热器立柱穿过所述顶盖的方形孔插接在所述筒体内，且所述加热器顶板的下端面与所述顶盖的上端面贴合。

上述的加热器的喷砂治具，其中，所述底板、筒体和顶盖均采用不锈钢制成。

上述的加热器的喷砂治具，其中，所述顶盖的四个的垂直的棱角部均为圆弧形过渡面。

本实用新型的加热器的喷砂治具，具有以下特点：

1.操作简单容易，仅需要将加热器放到喷砂治具上即可，喷砂治具与加热器的结合方式清楚且简单，可有效避免作业人员因为步骤繁多所造成的错误机率，与胶带必须一区域一区域的黏贴进行遮护相比较，作业时间明显降低，可大幅增加作业人员作业效率，生产效率连带增加；

2.喷砂治具保养维护容易，由于喷砂治具主体采用高强度的不锈钢制作，坚固且耐用，保养仅需要定期清洁外观，以保持工装干净即可；

3.喷砂治具采用硬件方式进行遮护，完全排除残胶未清除确实的疑虑，大幅降低客户端使用时异常产生的可能，对于客户端生产设备的稳定度维持，有明显的帮助，可保证加热器的质量；

4.采用本实用新型的喷砂治具对加热器进行喷砂，加热器的产品质量得到提升与控制，提升生产商的生产效率，降低生产成本，维持客户端使用时生产设备稳定度，产品损耗的降低，使用寿命的延长。

附图说明

图1为TxZ机型的加热器的结构示意图；

图2为本实用新型的加热器的喷砂治具的立体图；

图3为本实用新型的加热器的喷砂治具的使用状态图。

具体实施方式

为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解，下面通过具体的实施例并结合附图对本实用新型进行详细的说明。

请参阅图1，加热器1包括加热器顶板11和加热器立柱12，加热器顶板11呈圆盘形，加热器顶板11水平设置在加热器立柱12的顶端，且该加热器顶板11的中心与加热器立柱12的中轴线在同一直线上。