[实用新型]一种超精密摩擦驱动机构

权利要求书

1.一种超精密摩擦驱动机构，该机构主要包括驱动部分，辅助支撑部分、施压部分和偏心施压部分，其特征在于：

所述驱动部分包括力矩电机（1），所述力矩电机（1）定子通过力矩电机座（2）与驱动机座（3）固装，力矩电机（1）转子通过电机法兰（5）连接摩擦驱动轴（4）的一端，所述摩擦驱动轴（4）安装在驱动机座（3）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系，摩擦驱动轴（4）的另一端与圆光栅（11）通过圆光栅法兰盘（12）相连接；

所述辅助支撑部分包括辅助支撑轴（15），所述辅助支撑轴（15）安装在辅助机座（16）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系；

所述施压部分包括施压轴（17），所述施压轴（17）安装在施压机座（19）上，并且之间设有径向密珠轴系和止推密珠轴系，所述施压机座（18）上方还安装有用于传递预压力的施压簧片（19）；

所述偏心施压部分包括偏心轴（20），所述偏心轴（20）通过驱动轴承（22）安装在偏心轴机座（21）上，所述偏心轴（20）由步进电机（23）通过蜗轮蜗杆减速器（24）连接并驱动，偏心轴（20）的径向上连接并驱动有垂直驱动轴（25），垂直驱动轴（25）滑动地设置在滑动轴套（26）内，并且下端与压力传感器（27）连接，压力传感器（27）的另一端与施压球头（28）固定，施压球头（28）压紧在所述施压簧片（19）上。

2.根据权利要求1所述的超精密摩擦驱动机构，其特征在于，所述摩擦驱动轴（4）与驱动机座（3）间的径向密珠轴系结构为驱动机座（3）轴孔中安装密珠轴承外套（7），钢球（9）通过径向钢球保持架（8）过盈预紧在摩擦驱动轴（4）与密珠轴承外套（7）之间，左右两侧止推密珠轴系结构为驱动机座（3）轴孔中安装密珠轴承外套（7），钢球（9）通过止推钢球保持架（10）过盈预紧在摩擦驱动轴（4）与密珠轴承外套（7）端面之间，在所述辅助支撑轴（15）与辅助机座（16）之间的径向密珠轴系和止推密珠轴系、在所述施压轴（17）与施压机座（18）之间的径向密珠轴系和止推密珠轴系与上述径向密珠轴系和止推密珠轴系结构相同。

3.根据权利要求1所述的超精密摩擦驱动机构，其特征在于，该机构还包括有摩擦杆（31），所述摩擦杆（31）安装在摩擦驱动轴（4）与辅助支撑轴（15）上，摩擦杆（31）自定心找正。

4.根据权利要求1或3所述的超精密摩擦驱动机构，其特征在于，所述施压轴（17）紧密压紧在摩擦杆（31）上，并且通过偏心施压部分提供的垂直压紧力的作为可靠的预紧力。

5.根据权利要求1所述的超精密摩擦驱动机构，其特征在于，所述偏心轴（20）通过转动带动垂直驱动轴（26）作径向直线运动，通过下部的施压球头（28）直接压紧在施压簧片（19）上，产生可调节的压紧力。