[实用新型]电镀装片夹具有效
申请号: | 201420625581.3 | 申请日: | 2014-10-27 |
公开(公告)号: | CN204162824U | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 王萍;李庆斌;李春雷;封国齐 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰集成电路有限公司 |
主分类号: | C25D17/06 | 分类号: | C25D17/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 浦易文 |
地址: | 310012 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电镀 夹具 | ||
1.一种电镀装片夹具,所述电镀装片夹具包括中间开设有孔部的夹具主体,所述夹具主体呈板状且具有第一侧面以及与第一侧面相对且平行的第二侧面,所述夹具主体在第一侧面沿所述孔部的周围设有用于卡设基片的卡槽,
其特征在于,从所述夹具主体的孔部的一部分边缘延伸出具有一高度的挡板。
2.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于所述挡板延伸的所述高度为孔部直径的2%-8%。
3.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述挡板的高度为孔部直径的5-6%。
4.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述挡板的厚度为所述夹具主体的厚度的15-25%。
5.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述挡板的厚度为所述夹具主体的厚度的20%。
6.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于,当基片安装在所述装片夹具上时,挡板与基片隔开一距离。
7.如权利要求6所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述距离为4-6mm。
8.如权利要求6所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述挡板与所述第二侧面齐平地从所述孔部的所述部分边缘延伸出。
9.如权利要求1所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述夹具主体还包括贯穿所述夹具主体的底部从孔部的底侧延伸到所述夹具主体的外侧的排液孔,所述排液孔构造成使电解液能够通过。
10.如权利要求9所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述排液孔为间隔布置的多个独立的小孔或为一体式槽。
11.如权利要求1-10中任一项所述的电镀装片夹具,其特征在于,所述装片夹具在使用状态时竖直放置,所述挡板位于孔部的底侧。
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