[实用新型]一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构有效
| 申请号: | 201420612331.6 | 申请日: | 2014-10-22 |
| 公开(公告)号: | CN204251766U | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
| 发明(设计)人: | 杨晓琴;张宇;陈园;王鹏;柳杉;殷建安;梅超;张伟 | 申请(专利权)人: | 上饶光电高科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 杨志宇 |
| 地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 晶体 铸锭 炉热场 保温 结构 | ||
1.一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构,其特征在于:包括上炉体(1)、顶隔热板(2)、侧隔热笼(3)、加热器(4)、石墨护板(5)、热交换块(6)、下炉体(7)、立柱(8)、底隔热板(9)、陶瓷坩埚(10)、保温装置(11)、提升连杆(12)、电极(13);上炉体(1)和下炉体(7)连接形成整个炉体,侧隔热笼(3)通过提升连杆(12)与上炉体(1)连接,顶隔热板(2)设置在侧隔热笼(3)的顶部,顶隔热板(2)上安装有保温装置(11),加热器(4)与电极(13)连接,侧隔热笼(3)内设有石墨护板(5),石墨护板(5)内设有陶瓷坩埚(10),石墨护板(5)的底部设有热交换块(6),立柱(8)和底隔热板(9)均设置在下炉体(7)内,立柱(8)设置在下炉体(7)的底部并支撑热交换块(6),底隔热板(9)设置在侧隔热笼(3)的底部。
2.根据权利要求1 所述的一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构,其特征在于:顶隔热板(2)上的保温装置(11)覆盖整个顶隔热板(2)。
3.根据权利要求1或2所述的一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构,其特征在于:所述的保温装置(11)的厚度为5-30mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构,其特征在于:所述的保温装置(11)的材质为石墨软毡。
5.根据权利要求1或2所述的一种晶体硅铸锭炉热场的保温结构,其特征在于:所述的保温装置(11)通过螺栓和螺母与顶隔热板(2)连接。
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