[实用新型]一种带树脂挡块的硅棒切割单元有效
申请号: | 201420604384.3 | 申请日: | 2014-10-17 |
公开(公告)号: | CN204136255U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 胥大鹏;何江涛;李斌全;谈继岗;解士超;王亮;杨松;戴璐;邓君雷;朱俞栋;欧哲舜 | 申请(专利权)人: | 无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 树脂 切割 单元 | ||
技术领域
本实用新型属于硅片切割技术领域,特别是涉及一种带树脂挡块的硅棒切割单元。
背景技术
现有的硅片切割方法是将硅棒和玻璃板、金属托板依次粘贴在一起,通过切片机的切割线对硅棒进行切割成硅片。该切割方法在每刀切割结束时,硅棒两端的硅片容易涨开,形成碎片,边缘(棱面缺损)不良。从而降低了硅片的成品率,也降低了硅棒的利用率。
发明内容
本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供一种提高硅棒利用率,降低硅棒两边涨片现象的带树脂挡块的硅棒切割单元。
本实用新型为实现上述目的,采用如下技术方案:
一种带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:包括硅棒、树脂挡块、金属托板和玻璃板;所述金属托板、玻璃板、硅棒依次粘贴在一起,所述树脂挡块粘贴在所述硅棒的两端。
其进一步特征在于:所述硅棒规格为156 mm×156mm。
所述树脂挡块厚度为15-20mm。
优选的:所述树脂挡块长×宽×厚为100mm×100mm×15mm。
进一步的:所述金属托板上设置有用于安装到机台上的燕尾铁。
本实用新型在硅棒两端各粘接一块正方形的树脂档块具有下述优点:
1. 可彻底消除硅棒两端涨片现象。
2. 可有效降低硅棒两端的碎片,边缘不良。
3. 使用树脂材质,易于切割,不会对硅片切割过程产生影响。
附图说明
图 1 为本实用新型示意图。
具体实施方式
如图1所示一种带树脂挡块的硅棒切割单元,包括硅棒2、树脂挡块1、金属托板3和玻璃板4;所述金属托板3、玻璃板4、硅棒2依次粘贴在一起,所述树脂挡块1粘贴在所述硅棒2的两端。所述硅棒2规格为156 mm×156mm。所述树脂挡块1长×宽×厚为100mm×100mm×15mm。所述金属托板3上设置有用于安装到机台上的燕尾铁5。
切割前,树脂挡块同硅棒一起粘接在玻璃板上,树脂挡块紧贴硅棒两端粘接,切割时,切割线从硅棒向树脂板延伸2-3mm,即保留树脂板有12-13mm厚度未进行切割,该部分未切割的树脂板有足够的支撑力,可完全消除硅片涨开现象。
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