[实用新型]化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨装置，包括研磨平台及设置于所述研磨平台上方的研磨头，所述研磨平台表面铺设有研磨垫，其特征在于：所述研磨平台的侧边设置有一研磨液收集器，所述研磨液收集器通过一研磨液流通管与一激光粒度分析仪连接，所述研磨液流通管穿通所述激光粒度分析仪；所述化学机械研磨装置还包括一分别与所述研磨平台、研磨头及激光粒度分析仪连接的研磨控制系统。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述激光粒度分析仪包括依次排布的激光器、显微物镜、针孔、准直镜、傅里叶透镜、光电探测器阵列及信号放大器；所述研磨液流通管穿过所述准直镜与所述傅里叶透镜之间的空隙；所述信号放大器与所述研磨控制系统连接。

3.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述研磨液流通管的材质为透明玻璃。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述化学机械研磨装置还设置有一报警装置，用于当检测到研磨液中大颗粒水平超过预设值时发出警报。

5.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述研磨液流通管连通于所述研磨液收集器底部。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述研磨液流通管穿通所述激光粒度分析仪侧壁，并穿通所述激光粒度分析仪底部露出出口。

7.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述激光粒度分析仪的粒度分析范围是0.1～10000微米。

8.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述激光粒度分析仪能接收到的颗粒散射光的散射角范围是0～150°。

9.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述研磨液收集器为一顶部开口的收容腔体。

10.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于：所述研磨液收集器与所述研磨平台的侧边通过卡固、粘附或焊接方式连接。