[实用新型]一种限速气缸

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种气缸，特别是涉及一种双排气口限速气缸。

背景技术

气缸是气压传动中将压缩气体的压力能转换为机械能的气动执行元件。气缸有做往复直线运动的和做往复摆动的两类。做往复直线运动的气缸又可分为单作用、双作用、膜片式和冲击气缸四种。以最常使用的单活塞杆双作用气缸为例来说明，它由封闭缸体、活塞、活塞杆以及气管等组成。

如图1所示，显示为现有技术中的气缸结构示意图，缸体01内部设有沿缸体壁上下滑动的密封圈02，所述密封圈由活塞杆03连接，当空压机07中的压缩空气从气管04进入缸体中，所述密封圈被推动向下运动，所述活塞杆同步向下移动；同时气体从气管05排出；当气体推动密封圈运动至缸体下部时，控制阀06关闭气体进入气管04，而打开气管05，从而气体从气管05进入，气体推动所述密封圈向上移动，从而活塞杆也向上移动；当所述活塞杆移动至所述缸体上部时，所述控制阀关闭所述气管04进气，并且再次打开气管05，如此反复操作，实现所述活塞杆的往复运动。

目前上述类型气缸在集成电路制造中被广泛使用，而集成电路制造中对电子元件的精确性要求极高，而目前存在的气缸运行速度精确可调性差，同时气缸运行速度无法精确显示，只能依据人眼和经验来判断。现行的控制汽缸的运行速度的方法是通过调节汽缸的驱动压缩空气的进出压力和流速。目前现有的气缸存在的缺点是：汽缸运行速度不均匀，向一个方向运动时先快后慢然后才稳定。例如：使用汽缸驱动的晶圆底部的支撑柱，如果气缸运行速度过快，会导致晶圆位置抬升时因惯性飞离支撑柱，导致晶圆位置偏离预定位置。再例如：放置晶圆的真空腔体中由汽缸驱动的狭缝阀开关速度过快，会因强烈的撞击和摩擦而产生大量的颗粒污垢，影响真空腔体的洁净度，影响产品良率。

在集成电路制造中，有必要控制气缸的运行速度，使其更平稳地工作，因此，有必要提出一种新的限速气缸来解决上述存在的问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种限速气缸，用于解决现有技术中由于气缸有高速运行过程中造成巨大冲击力而损伤晶圆或机台的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种限速气缸，其特征在于，所述限速气缸至少包括：缸体和位于所述缸体内部的双向活塞；分别位于所述缸体上部和下部且纵向间隔的第一、第二气管口；所述第二气管口较第一气管口远离所述缸体的顶部和底部；所述第一气管口连接于由分别安装有限流阀和单向进气阀的气管并行连接形成的第一气管的一端；安装有单向排气阀且一端与所述第二气管口连接的第二气管；所述第一、第二气管的另一端连接于一控制阀；所述控制阀连接于一空压机。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，所述控制阀为电磁阀，用于自动控制所述各个气管的打开和关闭。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，所述双向活塞由活塞杆和两个粘合在一起的密封圈组成；所述活塞杆穿过所述缸体的顶部和底部。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，所述两个密封圈粘合后的厚度大于位于所述缸体上部或下部的第一、第二气管口之间的距离。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，所述第一气管口位于所述缸体上部和下部的侧壁。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，所述两个密封圈粘合后的厚度大于所述第一气管口与该缸体底面或顶面的距离。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，位于所述缸体上部的第一、第二气管口之间的垂直距离等于位于该缸体下部的第一、第二气管口之间的垂直距离。

作为本实用新型的限速气缸的一种优选方案，位于所述缸体上部侧壁的第一气管口与该缸体顶面的距离等于位于所述缸体下部侧壁的第一气管口与该缸体底面的距离。

如上所述，本实用新型的限速气缸，具有以下有益效果：在活塞运动至缸体上部和下部时可以减小气缸由于冲击对机台造成的震动，从而提高机台的利用率以及提高产品的良率。

附图说明

图1为现有技术中的气缸结构示意图。

图2为本实用新型的限速气缸活塞运动至两个第二气管口之间的示意图。

图3为本实用新型的限速气缸活塞越过缸体底部的第二气管口的示意图。

元件标号说明

01       缸体

02、021  密封圈

03        活塞杆

04、05    气管

06        控制阀

07        空压机