[实用新型]可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置有效
申请号: | 201420593232.8 | 申请日: | 2014-10-14 |
公开(公告)号: | CN204243022U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
发明(设计)人: | 林志俞 | 申请(专利权)人: | 威控自动化机械股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 王洁 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 产生 吸附 晶粒 装置 | ||
技术领域
本实用新型系为一种固晶装置,特别是指一种可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置。
背景技术
发光二极管(LED)系藉由在支架中的晶粒发出光线,而晶粒固定在支架上的程序称之为「固晶」,固晶技术的优劣将影响着发光二极管质量的好坏。晶粒是从晶圆切割而来,在制造过程中,晶圆会先切割成数颗晶粒,再藉由固晶机逐一吸取晶粒并输送到支架上矩阵排列的端子组(电极)中进行固定,最后再将支架上的每一颗晶粒及端子组进行打线、封装、分割等制程。
传统发光二极管(LED)固晶机固晶方式是利用吸嘴接触晶粒表面在建立真空后,再将晶粒吸取带离蓝膜,而将晶粒固定在料片上,当晶粒要固在料片上之前会先在晶粒的固晶点点上导电胶,接着将晶粒放置在料片上,使晶粒脱离吸嘴主要系利用导电胶所产生的黏滞性,随着科技迅速发展,晶粒体积日益缩小,致使晶粒无法脱离吸嘴的问题,例如以下列举:一、晶粒表面具有沾黏性;二、因应制程需求只能使用微量导电胶;三、导电胶本身黏滞性不佳。以上列举的几种方式都会使传统固晶方式不符合制程使用,衍生出机台生产参数上调整不易或无法固晶生产等问题,间接使机台人机比下降、机台UPH(英文:Unit Per Hour的缩写,中文:每小时产量、能力、产能)下降、固晶精度变差。
于是,本发明人潜心研究,并配合学理的应用,终提出一种巧妙的设计,能有效改善上述缺失的可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置。
实用新型内容
本实用新型的目的即在于提供一种可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置,具有提高固晶作业效率,降低重工成本的功效。
本实用新型为达到上述目的所采用的技术手段为可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置,系将一自吸嘴脱附的晶粒固定于一料片上,包括:一承载座,其上方系设有一容置槽,该容置槽系设有多个第一通气孔;一固定板,设置于该容置槽内,且该固定板系设有多个第二通气孔;一真空产生单元,包含一抽气马达、一控制阀及一抽气管,该些抽气管的一端系连接该抽气马达,其另一端系连接该些第一通气孔;其中,所述料片系设置于该固定板上,且料片设有多个第三通气孔,所述第一通气孔、第二通气孔与第三通气孔之间系互相连通,以供气体流通。
在本实用新型的实施例中,该承载座的一侧设有一可转动的枢接件,该枢接件设有一第一接合部。
在本实用新型的实施例中,还包含一压板,该压板的一侧设有一第二接合部,该第二接合部与该第一接合部系互相对应接合。
本实用新型具有以下有益技术效果:
藉由承载座及其第一通气孔、固定板及其第二通气孔、真空产生单元的特殊设计,搭配应用料片的第三通气孔,令自吸嘴脱附的晶粒固定于一料片上,以提高固晶作业效率,降低重工(rework)成本的功效。
附图说明
图1为本实用新型实施例的立体图。
图2为本实用新型实施例的组件分解图。
图3为图1的A部分放大的平面示意图。
图4为本实用新型实施例的吸嘴吸取晶粒对准于料片的预定放置区P的侧视图。
图5为本实用新型实施例的吸嘴吸取晶粒放置于料片的预定放置区P的侧视图。
图6为本实用新型的实施例自吸嘴脱附的晶粒固定于料片上的侧视图。
符号说明
10 承载座
11 容置槽
12 第一通气孔
13 枢接件
131 第一接合部
20 固定板
22 第二通气孔
30 真空产生单元
31 抽气马达
32 抽气管
33 控制阀
40 料片
42 第三通气孔
50 压板
51 第二接合部
A 部分
C 晶粒
D 对应点
S 吸嘴
P 预定放置区
具体实施方式
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