[实用新型]全自动真空电子枪镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜装置。具体说是一种全自动真空电子枪镀膜装置。

背景技术

目前，对于玻璃基片真空镀膜的生产是以间歇式小规格、低效率、高成本的生产方式。该真空镀膜装置，包括真空罐体，在所述真空罐体内沿半径方向固定设置电子枪，及与电子枪相对应配置的装载物料的电子枪坩埚，距离电子枪上方一定高度具有一个旋转架。真空镀膜时，将被镀物体在大气状态下安放在真空罐内的旋转架上，关闭真空罐门，开始对真空罐体进行抽真空。在合理真空条件下（例如1*10E-2）满足后（抽真空时间约为30分钟），被镀物体开始高速旋转，开启电子枪分别蒸镀多层相应物质的镀制，镀制完成后再对真空罐体进行充气，方可取出被镀物体，即完成一次间歇式镀膜。另外，因被镀物体的镀膜技术要求不同，每次间歇工作时间约为1-12小时，最大工作效率为3平方米/小时。因此，现行技术的生产仅以单个被镀物体有限的装载面积进行镀制，不能形成具有生产能力的连续镀膜，所以镀膜产品规格受到限制、生产效率低、生产成本高、无法形成高效率的全自动化生产，仅能镀制基片载体，无法完成在卷取基片上镀制各种金属及氧化物、非金属膜层的问题。

发明内容

鉴于上述现状，本实用新型提供了一种全自动真空电子枪镀膜装置，使其能够满足不同规格，及形成高效率的全自动化生产，并可在任何基片上镀制各种金属及氧化物、非金属膜层。

本实用新型的技术解决方案是，一种全自动真空电子枪镀膜装置，包括真空室，及垂直安装在真空室内的电子枪，该电子枪所对应于装载物料的电子枪坩埚；其中包括有一输送带，该输送带穿过真空室位于电子枪的上方；所述的电子枪沿输送带横截面方向按间隔排列至少一排以上且分布多只的电子枪。因此，通过线性位移的输送带的输送方式，可以使被镀物品具备自动化连续生产的能力。

本实用新型中，所涉及的真空室两端进出口处安装有用于密封的真空锁。保证真空室的真空要求。

进一步地，所述的真空锁为已有技术，故省略描述。

本实用新型中，所述的电子枪多排排列时，每排可排列相同或非相同数量的电子枪。

本实用新型中，所涉及的电子枪与一个一种被镀物料的电子枪坩埚相配置，也可与多种相同或不相同被镀物料的电子枪坩埚相配置。可实现镀制任何被镀物料，满足相同或不同要求的品种。

本实用新型所指的电子枪，均为外购国产配套电子枪，如北京盖德、南京涉谷、成都金雅克公司的产品。

本实用新型具有的积极效果是，采用一排或多排排列电子枪镀膜，可以满足产品不同规格的要求。另外，通过设置的移动输送带，可有效形成连续自动化生产，即提高了生产效率，又可降低生产成本，保证产品质量的稳定。本实用新型生产效率可达80平方米/小时。同时，还可满足在任何形成的基片上镀制各种金属及氧化物、非金属膜层。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；

图2是图1的俯视图。

具体实施方式

下面将结合附图实施例，对本实用新型作进一步说明。

实施例1

见图1、图2所示的一种全自动真空电子枪镀膜装置，包括真空室5，及位于真空室5两侧的进片室3和出片室9，本实用新型所述真空室5内部垂直安装有电子枪6，及与电子枪6所对应的装载物料的电子枪坩埚7。本实施例还包括有一输送带4，该输送带4穿过真空室5位于电子枪6的上方。本实施例所述的电子枪6沿输送带4横截面方向按间隔排列有三排电子枪，第一排排列有五只电子枪，第二排排列有三只电子枪，第三排排列有五只电子枪，每一只电子枪对应一个装载物料的电子枪坩埚7。本新型中，在所述真空室5的两端连接有进片室3和出片室9，及安装在进片室3和出片室9内的进片、出片输送带2和10，与真空室5内的输送带4对接。实施例中真空室5的两端及进片室3和出片室8的进出口两端分别安装有用于封闭的真空锁8和1。保证真空室5的真空要求。本实施例的设计可镀制规格为：1.5m*2m，三层减反膜（也叫增透膜），第一排的五只电子枪，每只电子枪与装载折射率为1.6物料的电子枪坩埚相对应；第二排的三只电子枪，每只电子枪与装载折射率为2.2物料的电子枪坩埚相对应；第三排五只电子枪，每只电子枪与装载1.4物料的电子枪坩埚相对应。对上述物料每只电子枪采用不同的高压和束流进行蒸镀，约五分钟可以生产一片透光率为98%以上的性能优良的大规格减反膜产品，该产品每小时产能为36平方米。