[实用新型]坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构及生长炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种密封结构，特别是一种适用于大尺寸蓝宝石坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构及其生长炉，属于晶体生长炉密封技术领域。 

背景技术

在晶体生长真空炉中，有一种结构是通过坩埚杆升降来进行晶体的拉制，而坩埚则设置于坩埚杆上，坩埚杆与炉体间的密封通常采用的是二个骨架油封进行密封，在实际使用中，由于在装炉和出炉时不可避免地会掉一些保温材料的细小颗粒及粉尘在密封处，而保温材料的硬度又较高，在坩埚杆上下移动过程中造成密封损坏及坩埚杆表面划伤，从而引起漏气。 

发明内容

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，以克服现有密封结构缺点，避免保温材料的细小颗粒及粉尘对密封件和坩埚杆表面造成的磨损，保证真空炉的密封性。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，包括坩埚杆和炉体，所述坩埚杆穿过炉体的底部至炉膛内，且坩埚杆可相对于炉体上下升降，炉体的坩埚杆配合面上设置有上密封机构，坩埚杆的炉体外侧段还套设有可伸缩套件，所述可伸缩套件的上端与炉体密封连接，下端与坩埚杆密封配合。

进一步的，所述坩埚杆套设有上接头，所述上接头固定于炉体上，且炉体和上接头间设置有密封圈，所述可伸缩套件的上端通过上接头与炉体密封连接。

进一步的，所述可伸缩套件的下端与坩埚杆的配合面设置有下密封机构，所述可伸缩套件的下端通过下密封机构与坩埚杆密封配合。

进一步的，所述下密封机构为油封。

进一步的，所述上密封机构为油封。

本实用新型的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，还包括升降座，所述坩埚杆的下端连接于升降座上。

进一步的，所述可伸缩套件的下端固定设置于坩埚杆或升降座上。

进一步的，所述可伸缩套件的下端通过下接头与设置于坩埚杆或升降座上的连接盘连接。

一种坩埚下降法生长炉，采用所述的坩埚杆密封机构。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：所述坩埚杆在上下移动过程中始终处在可伸缩套件的伸缩范围中，上密封机构的作用是阻挡颗粒状的保温材料掉入可伸缩部件内，从功能上与该位置传统密封件的作用不同，炉膛与坩埚杆的密封主要是靠下密封机构进行密封，而进一步的将可伸缩套件的下端固定设置于坩埚杆或升降座上，使得下密封机构与坩埚杆之间始终处在一种相对静止的密封状态，有利于提高密封的可靠性，所述坩埚杆密封机构有利于消除坩埚杆与下密封机构之间的磨损，大大提高了密封的性能，同时也提高了下密封机构和坩埚杆的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中标记：1-坩埚杆、2-炉体、3-上密封机构、4-密封圈、5-上接头、6-连接件、7-可伸缩套件、8-下密封机构、9-下接头、10-连接盘、11-升降座。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例

本实用新型的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其结构如图1所示，包括坩埚杆1和炉体2，所述坩埚杆1穿过炉体2的底部至炉膛内，且坩埚杆1可相对于炉体2上下升降，炉体2的坩埚杆1配合面上设置有上密封机构3，坩埚杆1的炉体2外侧段还套设有可伸缩套件7，所述可伸缩套件7的上端与炉体2密封连接，下端与坩埚杆1密封配合。

本实施例中，所述坩埚杆1套设有上接头5，所述上接头5固定于炉体2上，且炉体2和上接头5间设置有密封圈4，所述可伸缩套件7的上端通过上接头5与炉体2直接密封连接，或者可伸缩套件7的上端和上接头5间通过连接件6来间接密封连接；所述可伸缩套件7的下端与坩埚杆1的配合面设置有下密封机构8，所述可伸缩套件7的下端通过下密封机构8与坩埚杆1密封配合，使得炉体2、坩埚杆1和可伸缩套件7形成完整的密封空间，且具有上下两处密封结构。

本实施例中，所述下密封机构8和上密封机构3均为油封。

进一步的，本实用新型的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，还包括升降座11，所述坩埚杆1的下端连接于升降座11上；所述可伸缩套件7的下端固定设置于坩埚杆1或升降座11上。