[实用新型]一种切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及到一种线锯机，尤其涉及到一种半导体行业中切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构。

背景技术

目前的线锯机，其切割线的绕行结构包括：机架以及活动设置在机架上的水平布置的主、从动辊，主、从动辊的辊面上设置有相互配合的等螺距的螺旋导向槽，所述的机架上还活动设置有与主动辊辊面上的相应螺旋导向槽相配合的导入轮、以及与从动辊辊面上的相应螺旋导向槽相配合的导出轮。在实际应用过程中，切割线由线锯机的放线装置送出，经过导入轮后，缠绕在主、从动辊的螺旋导向槽上，然后由导出轮导出，最后收卷在线锯机的收线装置上。这种切割线的绕行结构，使得切割线缠绕在主、从动辊上之后，形成上、下切割线层，在使用过程中，只有下切割线层才真正起切割作用，而且，晶体在切割过程中不能碰到上切割线层，这样就使得所能切割晶体的直径受到限制，必须小于主、从动辊的直径，使得该线锯机的加工范围较小。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种使待切割晶体的直径与主、从动辊无关的切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构，包括：机架以及活动设置在机架上的主动辊，主动辊的辊面上设置有等螺距的螺旋导向槽，所述的机架上还活动设置有与主动辊辊面上的相应螺旋导向槽相配合的导入轮，机架上在所述主动辊的下方还活动设置有一对与主动辊相平行的从动辊，这一对从动辊的辊面上分别设置有若干道与主动辊上的螺旋导向槽相对应的环形导向槽，所述的机架上还活动设置有与其中一个从动辊辊面上的相应环形导向槽相配合的导出轮，这一对从动辊上相对应的环形导向槽的中心线位于同一垂直平面上，相邻环形导向槽之间的间距与所述主动辊上的螺旋导向槽的螺距相等，所述环形导向槽的至少一侧侧壁上设置有导向锥面；

设：主动辊的直径为D1，螺旋导向槽的螺距为S，从动辊的直径为D2，导向锥面的锥度角为α，环形导向槽的深度为H，环形导向槽的宽度即其底壁的宽度为W，则：

α≤Arctan{(H×D1)÷[(D2-H)×S]}；长度单位为毫米。

作为一种优选方案，在所述切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构中，所述的一对从动辊对称布置在主动辊的两侧下方，使得主动辊与这一对从动辊形成等腰三角形布置。

本实用新型的有益效果是：由于本实用新型采用三辊结构即一根主动辊和两根从动辊，形成在主、从动辊的辊面上的侧切割线层对所要切割晶体的尺寸没有限制，从而大大拓宽了所述线锯机的加工范围；同时，由于构成下切割线层的各段切割线在切割过程中始终位于待割切晶体的相应横切面中，从而大大提高了切割精度。

附图说明

图1是本实用新型所述切割线的绕行结构示意图。

图2是图1中主动辊的右视方向结构示意图。

图3是图1中从动辊的右视方向结构示意图。

图4是图1中A部分的放大结构示意图。

图5是图3中B部分的放大结构示意图。

图1至图5中的附图标记：1、主动辊，11、螺旋导向槽，2、从动辊，21、环形导向槽，211、导向锥面，4、过滤网，41、过滤孔，42、定位条，5、定位管，51、挂接槽，6、喷淋管，61、喷淋孔，7、导入轮，8、导出轮，9、切割线。

具体实施方式

下面结合附图，详细描述本实用新型所述的一种切割晶片用线锯机中切割线的绕行结构的具体实施方案：