[实用新型]具有防崩膜功能的PVD沉积室有效
| 申请号： | 201420568113.7 | 申请日： | 2014-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN204138755U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 范晓鹏;张庆丰;李贵成;周冬;汪涛;胡尚智 | 申请（专利权）人： | 四川汉能光伏有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 郭霞 |
| 地址： | 610200 四川省成都市双流县*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 防崩膜 功能 pvd 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有防崩膜功能的PVD沉积室，包括阴极、阳极框、主气管道、侧遮板和基板，所述阴极、所述阳极框和所述基板从上到下依次平行设置，所述侧遮板水平设置在所述阳极框内侧的两长边端，所述主气管道设置在所述侧遮板的上方，其特征在于：还包括金属网罩，所述金属网罩包括第一网板、第二网板和第三网板，所述第一网板与所述主气管道的上弧相切，且所述第一网板的第一长边端与所述阳极框连接，所述第三网板附着在所述所述侧遮板的上侧面，所述第二网板与所述基板垂直设置，且所述第二网板的第一长边端与所述第一网板的第二长边端连接，所述第二网板的第二长边端与所述第三网板的第一长边端连接。
2.根据权利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉积室，其特征在于：所述金属网罩的个数为两个，且分别设置在两个所述侧遮板的上方。
3.根据权利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉积室，其特征在于：所述第二网板的宽度与所述主气管道的直径相等，所述第一网板的宽度与所述第三网板的宽度之和小于所述侧遮板的宽度。
4.根据权利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉积室，其特征在于：所述第一网板、所述第二网板和所述第三网板的短边端均与所述阳极框的短边端固定连接。
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