[实用新型]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，包括各自固定在接线板上的具有内凹腔的MEMS芯片与ASIC芯片，所述MEMS芯片的内凹腔与接线板相对，所述MEMS芯片与ASIC芯片之间通过金属导线连接，以及呈罩状的将MEMS芯片与ASIC芯片共同罩住的外壳，所述外壳边缘与接线板封装，其特征在于，所述MEMS芯片底边通过固定胶与所述接线板粘接固定，所述固定胶固定MEMS芯片底部的任一单边，或固定MEMS芯片底边的几个点，所述固定胶具有一定厚度使MEMS芯片底边与接线板之间产生间隙，所述间隙使MEMS芯片的内凹腔同外壳与接线板封装形成的腔体导通形成背腔；所述外壳内壁设置具有内空间的密封件，所述密封件与外壳内壁密封形成与背腔相隔开的前腔，所述前腔通过外壳上设置的音孔与外界联通。

2.如权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述接线板固定MEMS芯片的位置设置向内凹陷的凹槽，所述MEMS芯片的内凹腔与接线板上的凹槽相对，所述凹槽具有至少大于所述MEMS芯片底边轮廓的边缘，所述凹槽连同MEMS芯片与接线板之间的间隙将MEMS芯片的内凹腔与外壳和接线板之间形成的腔体导通形成背腔。

3.如权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述密封件在外壳内壁与MEMS芯片上表面之间延伸形成与背腔隔开的前腔，所述前腔位置的外壳上设置让前腔与外界联通的音孔。

4.如权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述密封件为中空的连接管，所述密封件上端与外壳内壁密封，所述密封件下端与MEMS芯片的上表面密封。

5.如权利要求4所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述密封件的截面形状呈多边形或圆形。

6.如权利要求4所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述密封件的管壁呈直线、曲线或折线状。

7.如权利要求3-6之一所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述密封件与所述MEMS芯片为一体式结构。