[实用新型]一种旋转磁场平面阴极

权利要求书

1.一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：包括屏蔽罩（1）、绝缘基座（2）、冷却池（3）、磁钢旋转装置（4）、靶座（5）和靶（6），所述屏蔽罩（1）拧接在圆盘形状的绝缘基座（2）的上方，所述冷却池（3）设置在屏蔽罩（1）内，并固定在绝缘基座（2）的上方，所述冷却池（3）内悬置有磁钢旋转装置（4），所述靶座（5）固定在冷却池（3）的上方，且与冷却池（3）的接触面上设有橡胶密封圈（34），所述靶（6）通过导热硅胶贴合在靶座（5）的上方，所述靶（6）的周圈还设有金属压环（7），所述金属压环（7）用于将靶（6）、靶座（5）固定；

所述磁钢旋转装置（4）包括磁钢安置底座（41）、磁钢（42）、冷却水进水管（43）、冷却水开孔（44），所述冷却水进水管（43）焊接在磁钢安置底座（41）的底部，所述冷却水开孔（44）位于磁钢安置底座（41）内，并与冷却水进水管（43）相联通，所述冷却水进水管（43）向下一侧延伸出冷却池（3）、绝缘基座（2）作为驱动杆与控制磁钢旋转装置（4）旋转的外部旋转装置的相连接；

所述冷却池（3）的底部还设有阴极电极（31）、冷却水出水管（32），并延延伸出绝缘基座（2）。

2.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述屏蔽罩（1）通过螺纹方式拧接在绝缘基座（2）的上方，所述屏蔽罩（1）采用导电金属材料制成，且屏蔽罩（1）的内壁到冷却池（3）、靶（6）和金属压环（7）的空隙距离在1-5mm之间，所述屏蔽罩（1）的罩体与大地相连接。

3.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述绝缘基座（2）采用聚四氟乙烯制成，厚度为5-20mm，所述绝缘基座（2）设有开孔，用于阴极电极（31）、冷却水出水管（32）和冷却水进水管（43）通过，所述绝缘基座（2）的开孔与冷却水进水管（43）之间设有空隙，所述绝缘基座（2）的开孔与阴极电极（31）、冷却水出水管（32）紧密接触。

4.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述冷却池（3）采用紫铜导体材料制成，所述冷却池（3）与冷却水进水管（43）接触处设有套接在冷却水进水管（43）上的轴封套（33），所述冷却池（3）与绝缘基座（2）通过耐高温胶水或螺钉连接。

5.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述磁钢旋转装置（4）的上表面与靶座（5）下表面之间间隙为1-4mm。

6.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述金属压环（7）采用紫铜或铝导体材料制成，为倒L形状，横侧边通过螺钉与靶（6）、靶座（5）相连，竖侧边与靶（6）的边缘间距为1-2mm。

7.根据权利要求1所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述磁钢（42）包括极性相反的第一磁钢（421）和第二磁钢（422），所述第一磁钢（421）和第二磁钢（422）通过卡接到磁钢安置底座（41）的上表面，并采用防水胶固定并包封，所述第一磁钢（421）为圆柱体，并设有两块，对称分布在磁钢安置底座（41）的上表面，所述第二磁钢（422）为弧形体，并设有两条，对称分布在磁钢安置底座（41）的上表面，并位于两块第一磁钢（421）之间，两条第二磁钢（422）的中心相外切，并对应侧的第一磁钢（421）呈同心圆分布。

8.根据权利要求1或7所述的一种旋转磁场平面阴极，其特征在于：所述磁钢安置底座（41）采用紫铜材料制成，厚度为30-100mm，设有用于卡接第一磁钢（421）和第二磁钢（422）的圆形深槽、弧形深槽。