[实用新型]氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置

权利要求书

1.一种氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置，其特征在于，包括：

氧化锌液体前驱物制备单元，其制备氧化锌液体前驱物；

掺杂单元，其在所述氧化锌液体前驱物中掺杂入掺杂前驱物，以形成掺杂氧化锌液体前驱物；

涂覆单元，其利用液相辊涂法在玻璃基板上涂覆所述掺杂氧化锌液体前驱物；以及

热处理单元，对所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板进行热处理，以形成氧化锌基透明导电膜玻璃。

2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述掺杂前驱物包括铝前驱物，锡前驱物，或氟前驱物。

3.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述氧化锌掺氟透明导电膜的厚度至少350nm。

4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述玻璃基板和所述氧化锌薄膜之间沉积有中间层。

5.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述中间层的主要成分为二氧化硅。

6.根据权利要求4所述的制备装置，其特征在于，所述中间层的厚度为30～150nm。

7.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述热处理温度为400～700℃，并且所述热处理的时间不少于3分钟。

8.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于，所述氧化锌液体前驱物有醋酸锌，硫酸锌，或氯化锌。

9.根据权利要求5所述的制备装置，其特征在于，所述中间层由氧化硅的液体前驱物形成，其包括R_uO_vSi_m，其中R为直链或支链或环烷基，u＝3-8,v＝0-4,m＝1-4，包括正硅酸乙酯(TEOS)或正硅酸甲酯(TMOS)。

10.根据权利要求2所述的制备装置，其特征在于，所述铝前驱物包括硝酸铝，或氯化铝；所述锡前驱物包括四氯化锡，二氯化锡，或单丁基 三氯化锡；并且所述氟前驱物包括三氟乙酸，氢氟酸，三氟化磷，或氟化铵。